徐德衍

作品数：33被引量：144H指数：6
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光学元件光学仪器剪切干涉干涉仪表面粗糙度更多>>
发文领域：机械工程电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《仪器仪表学报》《光子学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
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国内光学测试仪器发展与现状思考被引量：3
《光学仪器》2011年第2期89-94,共6页徐德衍 
简要回顾了国内光学测试仪器发展史,论述了国内光学测试仪器发展现状的四个主要特征和五个方面的差距,以及造成差距的一些主要原因,提出了加快提升国内光学测试仪器竞争能力和堵住进口的三项对策。最后,对相关领导和管理者以及专家技术...
关键词：光学测试仪器 计量检测 干涉仪 现状与差距 
角锥棱镜和柱面镜的技术表述与检测被引量：5
《光学与光电技术》2010年第4期10-13,共4页徐德衍 
针对近年来应用颇多的两种较特殊的光学元件一角锥棱镜和柱面(透)镜技术表述的不同形式,为使之逐渐趋于规范和统一,参照国外现行的一些技术要求以及国内公司几年来实施的具体事例,给出若干说明、建议、指标和数据处理方法,尤其推荐用光...
关键词：角锥棱镜 光束平行差 两面角 柱面透镜 
靶镜光学质量检测技术的研究被引量：2
《光子学报》2007年第5期926-929,共4页刘丹 黄惠杰 任冰强 徐德衍 曾爱军 王向朝 
提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径为270mm的非球面...
关键词：光学检验 扫描型哈特曼检测装置 靶镜 能量集中度 波像差 
狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用
《中国激光》2005年第9期1178-1182,共5页曾爱军 王向朝 徐德衍 李代林 黄立华 董作人 赵永凯 江晓军 步扬 
国家863计划(2002AA404050);上海市纳米专项(0214nm091;0359nm004)资助项目
提出了一种基于狭缝投影的位置传感技术,阐述了此技术的传感原理及其在精密定位中的应用。准直激光束照明的投影狭缝由一个透镜以掠入射角度投影在被测物体上,狭缝投影经过被测物体表面的反射和另一个透镜的成像在探测双缝上形成投影狭...
关键词：测量 位置传感器 精密定位 投影狭缝 探测双缝 
投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展被引量：19
《激光与光电子学进展》2004年第7期24-30,共7页曾爱军 王向朝 徐德衍 
阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。
关键词：投影光刻机 调焦调平传感器 逐场调焦调平 步进扫描 步进重复 
光学元件技术要求与检验国际新标准的若干问题被引量：4
《光学仪器》2002年第1期35-37,共3页徐德衍 
介绍了 ISO1 0 1 1 0产生的背景及基本内容 ,对其中一些内容予以侧重阐述。同时也简略地提及该标准与其它一些标准的对应关系。文末提了几点建议。
关键词：ISO10110 光学元件 技术要求 国际标准 
强激光光学元件表面功率谱密度函数估计被引量：10
《强激光与粒子束》2000年第4期392-396,共5页沈卫星 徐德衍 
国家863惯性约束聚变领域资助课题!(L4162210)
在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度（ＰＳＤ）函数的基本概念、公 式和应用基础上，重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率ＰＳＤ对光场分布的影响， 并给出了强激光光学元件表面ＰＳＤ函数曲线的几个实测结果。
关键词：功率谱密度函数 表面轮廓测量 强激光 光学元件 
超光滑光学表面粗糙度的测定
《光学技术》1999年第5期40-42,共3页徐德衍 沈卫星 林尊琪 
讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差，进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Ｚｙｇｏ Ｍａｘｉｍ ３Ｄ５７００ 表面轮廓仪上使用２－５ ×和２０ ×Ｍｉｒａｕ 物镜测量ｒｍｓ 在０－３ｎｍ 左右的超光滑硅片，通过对...
关键词：光学轮廓仪 超光滑 表面粗糙度 测定 表学表面 
光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究被引量：6
《光学学报》1998年第12期1721-1726,共6页徐德衍 沈卫星 林尊琪 
在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上，用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪对表面空间波长的带限回应关系。对由光学轮廓仪不同带宽限制内测量元件表面粗糙度有不同回应所引起不...
关键词：表面空间波长 光学轮廓仪 带限回应 光学元件 
衍射光强取样分析法测定划痕宽度:实验部分被引量：1
《光学学报》1998年第1期90-94,共5页戴名奎 徐德衍 沈卫星 
根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案，比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果，给出了其相对测量误差，并分析了误差的主要来源。该方法速度快，精度高，有推广和应用的价值。
关键词：衍射花样 划痕宽度测量 衍射光强 取样分析 
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