熊爱武

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SOI高线性度压力传感器设计与分析
《集成电路通讯》2013年第4期1-5,共5页汪祖民 郭群英 徐栋 王鹏 何凯旋 熊爱武 
使用SOI硅片材料，采用选择性自停止腐蚀工艺，设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻，压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置，通过对压敏电阻的长、宽、结深和在...
关键词：线性度 SOI 压力传感器 U型压敏电阻 
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