丁明清

作品数：27被引量：95H指数：6
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供职机构：中国电子科技集团公司第十二研究所更多>>
发文主题：金刚石微波等离子体化学气相沉积金刚石膜太赫兹行波管更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《人工晶体学报》《微波学报》《液晶与显示》更多>>
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太赫兹行波管输能窗用复合金刚石膜的设计被引量：2
《太赫兹科学与电子信息学报》2018年第3期374-377,共4页李莉莉 丁明清 杜英华 冯进军 
国家重点基础研究发展计划("973"计划)资助项目(2013CB933602);装备预先研究资助项目(31512010502-3)
为解决现有多晶金刚石用于太赫兹(THz)真空电子器件输能窗存在慢性漏气风险的技术难题,介绍了一种高断裂强度、良好真空密封性能、低微波损耗的新型超薄复合多层金刚石膜的研制方法。该复合超薄金刚石膜采用微波等离子体化学气相沉积(MP...
关键词：超纳米金刚石 微米金刚石 断裂强度 传输损耗 
MPCVD法合成硼掺杂金刚石薄膜的次级发射性能
《中国空间科学技术》2017年第2期48-53,共6页李莉莉 丁明清 高玉娟 邵文生 冯进军 
微波电真空器件国家级重点实验室基金(9140C0505011006)
为解决电子倍增器、场发射阴极和粒子/光子探测器现有阴极材料次级发射系数低且发射不稳定的问题,对微波等离子体化学气相沉积(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition,MPCVD)法结合H等离子体表面处理工艺制备的不同B2H6/CH4浓度...
关键词：硼掺杂金刚石 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 次级电子发射能力 
太赫兹真空电子器件用场发射阴极技术分析被引量：2
《微波学报》2015年第S1期48-51,共4页李兴辉 白国栋 李含雁 丁明清 冯进军 
科技部国家重大科学研究计划项目(2013BC933602)
本文阐述了太赫兹真空电子器件对阴极电子源的需求条件,分析了在该器件中应用场发射阴极的可能性。介绍了当前两种主要场发射阴极,即金属薄膜场发射阴极和碳纳米管场发射阴极的国内外发展情况,指出了它们各自的优势以及实际应用中存在...
关键词：太赫兹 真空电子器件 场发射阴极 金属薄膜场发射阴极 碳纳米管 
太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究被引量：1
《微波学报》2015年第S1期29-31,共3页李莉莉 丁明清 杜英华 冯进军 胡健楠 
国家重点基础研究发展计划(2013CB933602)
微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子体化学气相沉积法(M...
关键词：太赫兹 输能窗 复合多层金刚石 断裂强度 密封性 
场发射阴极及其应用的回顾与展望被引量：17
《真空电子技术》2015年第2期50-63,共14页李兴辉 白国栋 李含雁 丁明清 冯进军 廖复疆 
科技部国家重大科学研究计划项目资助(项目编号2013BC933602)
本文综述了Spindt阴极、碳纳米管、碳纤维等场发射阴极的发展历史及国内外最新研究进展,以及以场发射阴极作为电子源,在行波管、X射线管、显示器件、太赫兹真空器件及真空纳米三极管中应用的发展情况。根据场发射阴极研究现状,分别分析...
关键词：场发射阴极 Spindt阴极 碳纳米管 碳纤维 微波真空器件 X射线管 显示器件 太赫兹真空器件 真空纳米三极管 
Spindt阴极金属颗粒粘附失效分析被引量：4
《真空科学与技术学报》2015年第4期418-423,共6页李兴辉 白国栋 李含雁 丁明清 冯进军 廖复疆 
科技部国家重点基础研究发展计划项目资助(2013CB933602)
Spindt型场发射阴极,在初期老炼过程中容易失效,其表现为发射尖锥和栅极间短路、漏电,或是真空电弧损伤。引起Spindt阴极失效的一个主要原因,分析认为是存在于发射尖锥表面、栅极边缘以及承载尖锥的二氧化硅空腔中的金属颗粒附着。这些...
关键词：Spindt阴极 微波真空功率器件 大电流应用 阴极失效 牺牲层 超声波清洗 兆声波清洗 
MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用
《真空电子技术》2014年第5期12-16,共5页唐伟忠 丁明清 李莉 冯进军 
金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景。目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋...
关键词：微波等离子体法 金刚石膜 微波电真空器件 
石英钟罩对MPCVD金刚石膜沉积的影响被引量：1
《人工晶体学报》2014年第10期2586-2591,共6页李莉莉 丁明清 潘攀 胡健楠 冯进军 
国家重点基础研究发展计划(973)(2013CB933602)
为了提高高品质金刚石膜的沉积速率,利用CST三维电磁场仿真软件,模拟了Diamo Tek700微波等离子体化学气相沉积设备中,在忽略等离子体存在的前提条件下,石英钟罩的厚度和形状对沉积金刚石膜的基片表面电场分布的影响。同时采用壁厚3 mm,3...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石 钟罩 沉积速率 
微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究被引量：2
《真空电子技术》2014年第4期62-64,71,共4页李莉莉 丁明清 杜英华 蔡军 胡银富 冯进军 
超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表明,合成的U...
关键词：太赫兹 微波真空器件 微波等离子体化学气相沉积 超纳米晶金刚石 
从石墨烯开关看电子在石墨烯中的奇异行为
《真空电子技术》2013年第4期1-5,共5页丁明清 
与固态器件相比,真空电子器件的最大特点是电子在真空中的运动速率远大于在固体中的运动速率。然而,石墨烯的问世使这种现象发生了变化。现已发现,石墨烯中的电子不仅运动速率远高于传统半导体中的电子,而且存在各种奇特行为,使石墨烯...
关键词：石墨烯 零带隙半导体 P-N结 重构逻辑电路 
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