崔永亮

作品数：5被引量：5H指数：1
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：铁电电容器NI-ALO磁控溅射光谱诊断更多>>
发文领域：理学电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《物理学报》《人工晶体学报》《河北大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金国家教育部博士点基金河北省应用基础研究计划更多>>
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磁控溅射沉积薄膜预溅射时间的光谱诊断被引量：1
《光谱学与光谱分析》2013年第3期595-599,共5页郭庆林 范青 崔永亮 董开虎 张磊 李旭 张金平 陈金忠 
国家自然科学基金项目(60876055);河北省自然科学基金项目(A2012201013)资助
利用Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集和处理系统以及光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,实现了实时获取射频磁控溅射过程中等离子体光谱,分别对NiTa,TiAl陶瓷靶,NiAl,TiAl合金靶四种靶材的磁控溅射过程产生的等离子体进...
关键词：等离子体发射光谱 光谱分析 磁控溅射 预溅射时间 
含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si异质结的研究被引量：1
《物理学报》2011年第11期650-658,共9页陈剑辉 刘保亭 赵庆勋 崔永亮 赵冬月 郭哲 
国家自然科学基金(批准号:60876055;11074063);河北省自然科学基金(批准号:E2008000620;E2009000207);河北省应用基础研究计划重点基础研究(批准号:10963525D);高等学校博士点基金(批准号:20091301110002)资助的课题~~
应用磁控溅射法以Ni-Al同时作为Cu与SiO2/Si,Cu与SRO薄膜之间的阻挡层材料,将Cu与SiO2/Si衬底和氧化物薄膜电极隔离,避免它们在高温氧气氛中发生化学反应和互扩散,实现了Cu薄膜与氧化物铁电电容器的集成.采用X射线衍射仪(XRD)和原子力...
关键词：Cu PZT 铁电电容器 NI-AL 
含Ni-Al阻挡层硅基BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电电容器的结构及物理性能被引量：3
《人工晶体学报》2011年第1期33-37,共5页陈剑辉 刘保亭 魏大勇 王宽冒 崔永亮 王英龙 赵庆勋 韦梦袆 
国家自然科学基金(60876055;11074063)资助项目;河北省自然科学基金(E2008000620)资助项目;河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
以Ni-Al为阻挡层,在Si衬底上构架了SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)/SRO异质结电容器。X射线衍射(XRD)分析表明:Ni-Al阻挡层为非晶结构,BFMO薄膜为具有良好结晶质量的多晶结构。在5 kHz测试频率下,SRO/BFMO/SRO电容器呈现饱和的电...
关键词：BiFe0.95Mn0.05O3 NI-AL 阻挡层 漏电机制 
磁控溅射沉积薄膜实验参数优化光谱诊断
《光谱学与光谱分析》2010年第12期3179-3182,共4页郭庆林 崔永亮 陈剑辉 张金平 怀素芳 刘保亭 陈金忠 
河北省自然科学基金项目(A2008000565)资助
采用磁控溅射仪、Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集系统和光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,采集了以Cu和Al为靶材、氩气为工作气体,射频磁控溅射法沉积硅基薄膜时的等离子体发射光谱。以CuⅠ324.754 nm,CuⅠ327.396 nm...
关键词：射频磁控溅射 等离子体发射光谱 硅基薄膜 
碳涂层对硅基薄膜激光微等离子体光谱强度的影响
《河北大学学报（自然科学版）》2009年第2期142-145,共4页冯强 张秋琳 邹昊 崔永亮 怀素芳 郭庆林 
973前期研究专项(2007CB616910);河北省自然科学基金资助项目(A200800565)
为了降低薄膜样品表面对激光的反射率,提高等离子体的辐射强度,改善谱线质量,提出了一种在薄膜表面涂覆碳层的方法,并研究了不同涂层厚度对等离子体谱线强度的影响.实验结果表明,薄膜表面涂覆碳层,可有效减少表面对激光束的反射,提高热...
关键词：激光微区等离子体 硅基薄膜 辐射强度 
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