崔江涛

作品数:4被引量:8H指数:1
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供职机构:上海大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:金刚石膜表面粗糙度HFCVDCVD金刚石膜晶粒尺寸更多>>
发文领域:电子电信理学核科学技术更多>>
发文期刊:《核电子学与探测技术》《红外与毫米波学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金:“上海-应用材料研究与发展”基金国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金上海市科委纳米专项基金更多>>
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晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量:1
《功能材料与器件学报》2006年第4期275-279,共5页崔江涛 王林军 苏青峰 阮建锋 蒋丽雯 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(No.60577040);上海应用材料研究与发展基金(No.0404);上海市纳米专项(No.0452nm051);上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助上海市重点学科(T0101)资助
通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金...
关键词:金刚石膜 电学特性 晶粒尺寸 HFCVD 
纳米金刚石薄膜的光学性能研究被引量:7
《红外与毫米波学报》2006年第3期195-198,共4页蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(60577040);上海应用材料研究与发展基金(0404);上海市纳米科技专项(0452nm051);上海市重点学科资助(T0101)
用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、...
关键词:纳米金刚石薄膜 光学透过性 热丝化学气相法 表面粗糙度 
多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
《功能材料与器件学报》2006年第2期91-94,共4页阮建锋 夏义本 王林军 刘健敏 蒋丽雯 崔江涛 苏青峰 史伟民 
国家自然科学基金(项目编号:60277024);上海应用材料研究与发展基金(批准号0404);上海市教育委员会"材料学"重点学科资助
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.8...
关键词:纳米金刚石 HFCVD 表面粗糙度 声表面波 
新型金刚石膜微条气体室X射线探测器
《核电子学与探测技术》2005年第6期750-753,共4页苏青峰 夏义本 王林军 杨莹 张明龙 楼燕燕 顾蓓蓓 崔江涛 史伟民 
国家自然科学基金(批准号60277024)上海市科委启明星项目(批准号02QE14018)上海应用材料研究与发展基金(批准号0307)资助上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助
以金刚石膜/硅复合材料作为基板,运用微加工技术在金刚石膜/硅衬底上光刻铬/金微条电极,制成了流气式微条气体室探测器。在室温及101.0kPa下,使用微机多道能谱仪及辅助电子学设备在5.9keV55FeX射线辐照下测量了微条气体室探测器在不同...
关键词:金刚石膜 MSGC X射线探测器 能量分辨率 
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