郑丽

作品数：10被引量：16H指数：3
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发文主题：湿敏元件湿敏材料感湿机理衬底材料衬底更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《光电技术应用》《计测技术》《传感器与微系统》更多>>
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一种提高引导精度的坐标转换算法被引量：2
《光电技术应用》2020年第3期55-58,共4页朱有德 贾子尧 郑丽 
在跟踪模块和打击模块协同工作的设备中,打击模块需要高精度的引导数据。传统方法并未考虑跟踪模块和打击模块之间的位置差距,导致指向数据也存在一定偏差。提供了一种根据跟踪模块提供的指向和距离信息,计算出目标相对于打击模块的准...
关键词：跟踪 打击 距离 坐标转换 目标准确指向 
电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究被引量：1
《信息技术》2016年第4期69-72,共4页王成杨 王亚彬 金建东 郑丽 司良有 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2014AA06A505);中国电子科技集团公司第四十九研究所青年科技创新基金资助项目(QC2014005)
采用49-1,PI-5,DOW184以及CAB551四种有机物作为湿敏元件的保护层材料,制作带有保护层的电容式湿敏元件,并对其湿度响应特性与耐污染能力进行研究。实验结果表明,49-1具有更好的综合性能,其湿滞变化为0.18%RH,涂覆后响应时间为11s,污染...
关键词：湿度 传感器 电容式 保护层 
降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究被引量：6
《传感器与微系统》2015年第6期27-29,共3页郑丽 金建东 司良有 王成杨 张鹏 王亚彬 
针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据...
关键词：湿滞 湿敏元件 湿敏材料 
基于外部激活表面高温状态下的硅-硅键合被引量：1
《微纳电子技术》2015年第5期325-328,共4页王亚彬 王晓光 郑丽 王成杨 宋尔冬 
提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态。经键合机预键合后,在高温炉中完成原子轨道重叠,实现硅-硅键合。通过镜下检...
关键词：表面激活 表面态 高温退火 硅-硅直接键合(SDB) 空洞 键合强度 
多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展被引量：1
《科技创新与应用》2014年第2期8-10,共3页李海博 尹延昭 郑丽 
多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低,效率稳定性好、光电转换效率高,多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造,其用途从栅极材料和互联引线发展到绝缘...
关键词：多晶硅 压阻特性 纳米薄膜 应变系数 
MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究被引量：1
《计测技术》2010年第S1期26-28,共3页金建东 郑丽 王震 
国家863计划资助项目(2006AA04Z319)
在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替...
关键词：MEMS 集成加热功能 双模块 湿度传感器 
湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析被引量：1
《信息技术》2010年第5期17-19,共3页张广学 司良有 金建东 刘其中 郑丽 
国家863计划资助项目(2006AA042319)
介绍了电容式高分子湿敏元件的基本结构及制造工艺。分析了湿敏元件在恶劣环境下的失效机理及产生的原因,指出了感湿膜中的颗粒状缺陷是造成湿敏元件在恶劣环境下失效的主要原因。提出了在湿敏元件制作、上电极工艺制造技术和湿敏元件...
关键词：湿敏元件 失效机理 缺陷 
集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究被引量：3
《信息技术》2010年第4期33-35,共3页金建东 郑丽 司良有 王明伟 
国家863计划资助项目(2006AA04Z319)
为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。
关键词：衬底材料 湿敏电容 加热功能 双模块 
电容式高分子湿敏材料功能设计被引量：4
《微纳电子技术》2007年第7期66-67,71,共3页郑丽 金建东 卢崇考 
以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和...
关键词：电容式高分子湿敏材料 感湿机理 功能设计 
高分子湿敏电容的设计被引量：3
《计测技术》2006年第B09期57-59,共3页金建东 王朝晖 郑丽 卢崇考 
从传感器功能要求出发,阐述了高分子湿敏电容正向设计规则。介绍了电容型高分子湿敏元件的感湿机理、元件结构、工艺过程和感湿材料设计方法,同时以应用示例给予说明。
关键词：高分子湿敏元件 高分子湿敏材料 材料功能设计 
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