张孝吉

作品数:30被引量:92H指数:5
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供职机构:北京师范大学核科学与技术学院更多>>
发文主题:离子注入离子源离子束表面改性强流更多>>
发文领域:金属学及工艺电子电信理学核科学技术更多>>
发文期刊:《物理学报》《微细加工技术》《原子核物理评论》《北京师范大学学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市科技新星计划中国航空科学基金更多>>
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MEVVA离子束技术的发展及应用被引量:7
《北京师范大学学报(自然科学版)》2014年第2期132-138,共7页吴先映 廖斌 张旭 李强 彭建华 张荟星 张孝吉 
博士学科点专项科研基金资助项目(20110003120010);北京师范大学教育部重点实验室资助项目;国家自然科学基金资助项目(11305009);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012LYB24)
金属蒸汽真空弧放电能够产生高密度的金属等离子体.通过二或三电极引出系统,可以把金属等离子体中的金属离子引出,并加速成为载能的金属离子束,这是MEVVA离子源技术.将载能离子束用于离子注入,可以实现材料表面改性.经过MEVVA源离子注...
关键词:MEVVA离子注入 磁过滤等离子体沉积 材料表面改性 
采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
《核技术》2007年第12期971-974,共4页张旭 王耀辉 吴先映 李强 张荟星 张孝吉 
采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管电流和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律。实验结果表明:薄膜是由TiC和...
关键词:磁过滤 类金刚石膜 过滤电流 
采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究被引量:1
《北京师范大学学报(自然科学版)》2007年第2期154-157,共4页王耀辉 张旭 吴先映 徐元直 张荟星 张孝吉 
国家自然科学基金资助项目(50141022)
采用直流金属磁过滤阴极真空弧(FCVA)制造出Ti和乙炔(C2H2)气体的双等离子体在单晶硅(100)上制备非晶态碳膜.重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响.研究结果表明,薄膜中主要成分是TiC,...
关键词:非晶态碳膜 磁过滤阴极真空弧 过滤线圈电流 乙炔的体积流量 结构和性能 
MEVVA离子源凸形引出电极的研制被引量:1
《核技术》2006年第2期93-96,共4页吴先映 张孝吉 李强 张胜基 张荟星 刘安东 
国家"863"计划项目(AA338020)北京市科技新星A(H020820990120)
介绍了金属蒸气真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源的凸形引出电极的研制。研究表明, 凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短的引出距离和较小的引出电极面积的条件下得到大的束斑和均匀可应用的束流分布。通...
关键词:金属蒸气真空弧离子源 引出电极 束流分布 
50型MEVVA源离子注入机被引量:2
《北京师范大学学报(自然科学版)》2002年第4期496-499,共4页吴先映 李强 张胜基 张孝吉 张荟星 
国家"八六三"计划资助项目
详细介绍了 5 0型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能 .5 0型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的“八六三”计划项目“先进离子束注入技术的工业应用”所取得的成果 。
关键词:MEVVA源 离子注入机 材料表面改性 真空靶室 电源 低能核物理 控制测量系统 
碳、钨离子共注入H13钢表面改性的研究被引量:5
《北京师范大学学报(自然科学版)》2002年第1期45-47,共3页马芙蓉 张通和 梁宏 张荟星 张孝吉 
国家自然科学基金资助项目(6970061)
将不同单质机械混合,在不增加注入机离子源数目的基础上实现了不同离子的共注入.发现C+W离子共注入使H13钢表面强化,硬度和抗磨损能力提高,且注量的增大加强了这种强化效果.共注入增强了H13钢的抗均匀腐蚀能力,且比双注入效果好.在...
关键词:MEVVA源 离子共注入 H13钢 抗摩擦磨损 抗均匀腐蚀 抗点蚀 表面改性   
Ag离子注入聚合物表面形貌原子力显微镜观察及其特性研究被引量:3
《北京师范大学学报(自然科学版)》2001年第6期754-757,共4页吴瑜光 张通和 张荟星 张孝吉 
国家自然科学基金资助项目 (5 96 710 5 1) ;国家"八六三"计划资助项目
采用MEVVA离子注入机引出的Ag离子进行了聚酯薄膜改性研究 ,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化 ,用原子力显微镜观察了注入样品表面形貌的变化 ,表面粗糙度与注量密切相关 .透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面表明 ,随注量的增...
关键词:银离子注入 摩擦特性 纳米颗粒 聚合物表面强化机理 聚酯薄膜 表面形貌 原子力显微镜观察 
金属离子注入聚合物纳米结构形成和导电机理被引量:2
《中国科学(E辑)》2001年第5期399-404,共6页吴瑜光 张通和 张荟星 张孝吉 周固 
国家自然科学基金 (批准号 :5 96 710 5 1);国家"八六三"计划资助项目
采用MEVVA离子注入机引出的Ag ,Cu ,Ti和Si离子注入聚酯薄膜 ,注入后的聚酯膜电阻率大大降低了 .用透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面 ,TEM照片表明 ,在注入层中形成了纳米金属颗粒和富集的碳颗粒 .用X射线衍射测量了注入层中结构...
关键词:金属离子注入 电阻率 纳米颗粒 导电机理 高分子聚合物 表面金属化 
强流金属离子注入被引量:3
《微细加工技术》2001年第1期22-25,共4页张涛 宋教花 张荟星 张孝吉 汤宝寅 朱剑豪 Monteiro O R Brown I G 
86 3计划项目! (86 3 715 0 0 8 0 0 4 0 )
金属等离子体浸没注入 (MEPIII)技术与金属蒸气真空弧 (MEVVA)源注入技术有相同之处 ,也有各自不同的特点。采用两种方法进行钛离子注入硅 ,RBS方法分析注入层 ,并对两种注入技术予以比较。
关键词:金属离子注入 MEVVA MEPIII 金属蒸气真空弧 
磁过滤阴极真空弧沉积薄膜研究被引量:15
《微细加工技术》2001年第1期45-49,共5页吴瑜光 张通和 张荟星 张孝吉 王广甫 
国家自然科学基金(59671051);国家863计划资助
采用磁过滤阴极真空孤沉积技术对从弧源引出离子束中的大颗粒进行过滤后 ,在硅和聚合物表面进行离子注入和低能离子束沉积 ,可获得特性优异的沉积金属膜、超硬膜 (类金刚石 ,CN膜 )、陶瓷膜 (TiN ,TiC)等。电子显微镜观察表明 ,大颗粒...
关键词:磁过滤 离子沉积 聚合物 类金刚石膜 
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