曾国良

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：郑州大学更多>>
发文主题：超薄膜QCM光分解显影萘基更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
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含萘基的光抗蚀剂超薄膜的显影和光分解性质的研究被引量：1
《功能材料》2007年第A01期253-256,共4页许文俭 李铁生 曾国良 尚巍 吴养洁 
基金项目：河南省杰出人才创新基金资助项目（0621001100）;河南省自然科学基金资助项目（0611020100;07150042）
用LB膜技术将以十二烷基甲基丙烯酰胺（DDMA）为成膜物质，以甲基丙烯酸-β-萘酯（NPMA）为光敏感物质的共聚物（pDDMA-NPMA）在石英等基片上制成超薄膜，并用石英晶体微天平（QCM），AFM，FTIR对其显影过程及光分解机理进行了初步探讨...
关键词：石英晶体微天平(QCM) 超薄膜 光分解 显影 
高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究
《功能材料》2007年第A01期281-284,共4页曾国良 李铁生 许文俭 张素华 王筠 赵娜 吴养洁 
基金项目：河南省杰出人才创新基金资助项目（0621001100）;河南省杰出青年基金资助项目（074100510015）;河南省自然科学基金资助项目（0611020100,2007150042）
合成并表征了N-十六烷基丙烯酰胺（HDA）和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯（BPhMA）的共聚物p（HDA-BPhMA）s。当HDA含量较高时，共聚物可在气，液界面上形成稳定，排列紧密的单分子薄膜，并可以Y型膜的方式沉积在各种固体基片上，形成多层...
关键词：langmuir-blodgett(LB)膜 光刻 聚合物 刻蚀 
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