于三

作品数：16被引量：21H指数：2
导出分析报告
供职机构：吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文主题：金刚石薄膜金刚石气相合成金刚石膜气相沉积更多>>
发文领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空》《Journal of Semiconductors》《高压物理学报》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
热壁外延与Ⅳ-Ⅵ族半导体红外器件
《物理》1999年第12期738-740,共3页杨玉琨 李冬妹 陈海勇 于三 邹广田 
集成光电子国家重点联合实验室资助
文章介绍了热壁外延（ＨＷＥ） 技术及其应用．主要介绍了用热壁外延技术制作的几种Ⅳ－ Ⅵ族半导体红外探测器和激光器，介绍了这方面国际上近年来的一些新进展。
关键词：热壁外延 Ⅳ-Ⅵ族半导体 红外探测器 
Al-AlN纳米粉在空气中热处理产物的结构与形貌分析被引量：1
《吉林大学自然科学学报》1999年第2期66-68,共3页李冬妹 李红东 李明辉 杨海滨 陈海勇 于三 李英爱 邹广田 
利用 Ｘ 射线衍射光谱（ Ｘ Ｒ Ｄ）和透射电子显微镜（ Ｔ Ｅ Ｍ ）对 Ａｌ Ａｌ Ｎ 纳米粉在空气中不同热处理条件的产物结构与形貌进行分析． 结果表明， 原料的结构及加热过程是决定产物性质的主要因素．
关键词：纳米粉 热处理 形貌 铝 氮化铝 陶瓷材料 XRD 
热阴极辉光PACVD金刚石厚膜的生长特性
《吉林大学自然科学学报》1996年第2期52-54,共3页孙海平 于三 姜志刚 李冬妹 柳林 金曾孙 邹广田 
对用热阴极辉光ＰＡＣＶＤ方法合成的金刚石厚膜，采用扫描电子显微镜进行了观察，研究了金刚石的生长机制．
关键词：金刚石厚膜 PACVD 生长 孪晶 SEM 
在触媒生长cBN区观察到wBN晶粒
《高压物理学报》1996年第2期137-140,共4页张铁臣 于三 郭伟力 刘建廷 邹广田 李冬妹 
国家自然科学基金
用高分辨率（０．２ｎｍ）电子显微镜，对ｈＢＮ－触媒体系经高温高压处理后的产物观察中，看到尺寸约为３０ｎｍ的微小颗粒，经电子衍射方法判定其具有纤锌矿结构，为ｗＢＮ的雏形晶粒。
关键词：电镜观测 雏形 晶粒 氮化硼 
对微小尺寸hBN、cBN晶体的电镜观测被引量：1
《高压物理学报》1996年第1期76-80,共5页张铁臣 于三 郭伟力 刘建廷 邹广田 李冬妹 
国家自然科学基金资助项目
利用高分辨率（０．２ｎｍ）电子显微镜对经高温高压处理的ｈＢＮ－触媒体系中纳米尺度的产物进行了观察，并通过电子衍射方法确定了其中的ｈＢＮ、ｃＢＮ相。结果表明，ｈＢＮ、ｃＢＮ晶粒在２００～３００ｎｍ尺寸范围内时其自身结构...
关键词：hBN CBN 电镜观测 纳米晶粒 晶体结构 
硼掺杂p-型半导体金刚石薄膜的气相合成及其掺杂行为的研究被引量：7
《Journal of Semiconductors》1993年第9期579-584,T001,共7页于三 邹广田 金曾孙 
利用灯丝热解CVD方法以甲烷和氢气为原料、以单质硼为掺杂源,制备了高晶体品质的硼掺杂多晶金刚石薄膜。其晶体结构及晶格常数与天然立方结构金刚石相同,硼掺杂后未引起金刚石薄膜中非金刚石碳含量的增加。证实了硼掺杂金刚石薄膜为p-...
关键词：半导体材料 金刚石薄膜 合成 掺杂 
物理学与新型(功能)材料专题系列介绍(V) 金刚石薄膜及其应用被引量：2
《物理》1992年第5期280-285,共6页邹广田 于三 
金刚石薄膜的气相合成及应用研究近年来取得了飞速发展，气相合成金刚石薄膜的ＣＶＤ方法已达２０几种，最大的沉积速度已达到每小时９３０μｍ．硼掺杂金刚石薄膜的空穴载流子浓度已达到１０～（１８）ｃｍ～（－３），电阻率已达到１...
关键词：金刚石 薄膜 掺杂 CVD 
金刚石薄膜的阴极荧光特性研究
《科学通报》1992年第1期86-89,共4页于三 金曾孙 吕宪义 邹广田 
自从Setaka等人利用CVD方法在硅等非金刚石衬底上合成出具有清晰结晶晶面的金刚石晶体及多晶金刚石薄膜以来,金刚石的合成技术在近几年取得了迅速的发展。同时,气相生长金刚石的材料性质研究及应用研究也取得了较大的进展。
关键词：薄膜 金刚石 阴极荧光 CVD法 
金刚石薄膜热沉的制备研究被引量：3
《人工晶体学报》1991年第2期151-155,共5页于三 赵方海 金曾孙 吕宪义 庄荣书 邹广田 
利用灯丝热解CVD方法合成了厚度为100μm以上的金刚石多晶薄膜。气相合成的金刚石膜按照2mm×2mm×0.1mm尺寸切割后,通过表面真空蒸镀Ti、Pt、Au包层,在一定的温度下通过烧结等方法使金刚石膜表面金属化,实现了金刚石膜热沉的制备。在Ga...
关键词：金刚石 薄膜 热解CVD 热沉 
用热解化学气沉积法选择性生长金刚石薄膜的研究被引量：1
《科学通报》1991年第6期417-419,共3页于三 金曾孙 吕宪义 邹广田 
一、引言 金刚石薄膜作为一种新型多功能材料,其制备和应用研究在近几年内取得了飞速的发展.目前,用各种化学气相沉积方法(CVD)合成的金刚石薄膜在一些领域内已取得了初步的应用.金刚石薄膜的选择性生长就是在衬底表面上按照所需图形生...
关键词：金刚石 薄膜 化学气相沉积 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部