江洪敏

作品数：32被引量：64H指数：5
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：声表面波延迟线薄膜体声波谐振器压电薄膜气体传感器更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术建筑科学更多>>
发文期刊：《火控雷达技术》《压电与声光》《重庆医学》《材料导报》更多>>
所获基金：重庆市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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K波段BAW器件技术研究
《压电与声光》2018年第3期313-315,共3页毛世平 李文豪 江洪敏 郑泽渔 
国家科技部重点研发计划项目资助
通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K波段BAW延迟线样品。其工作中心频率为23.8GHz,插入损耗为51.9dB,带宽为1 122MHz,延迟时间为299ns,直通抑制为29dB,3次渡越抑制为40dB。
关键词：体声波(BAW) 延迟线 换能器 压电薄膜 
二氟化氙释放牺牲层多晶硅刻蚀速率研究被引量：1
《压电与声光》2016年第6期926-928,933,共4页司美菊 杜波 田本朗 徐阳 金成飞 蒋欣 江洪敏 马晋毅 
该文研究了相关工艺参数对二氟化氙(XeF_2)干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器(FBAR)悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N_2流量的增大,刻蚀速率先增加后减少,刻蚀速率最大值为10.3μm/min;载气N2流量不变时...
关键词：空气隙 干法刻蚀 刻蚀速率 粗糙度 支撑层 
薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计被引量：8
《压电与声光》2016年第4期531-534,共4页杜波 马晋毅 蒋欣 江洪敏 徐阳 田本朗 金成飞 司美菊 
为了抑制薄膜体声波谐振器的寄生谐振,建立了薄膜体声波谐振器的二、三维有限元模型。通过频率响应仿真,分析了不同电极结构的谐振器在中心频率处的振动位移分布情况和频率响应曲线,评估了不同电极结构对谐振器寄生振动的影响,并完成谐...
关键词：薄膜体声波谐振器 有限元 寄生振动 频率响应 
新型声表面波神经性毒剂传感器的研究被引量：1
《压电与声光》2015年第5期734-736,741,共4页张萍 马晋毅 陈传治 杜波 江洪敏 
研制了基于声表面波技术的神经性毒剂传感器,对沙林进行检测研究,并对敏感材料氟化超支化聚合物的合成与表征进行了报道。结果表明,所研制的新型传感器具有响应快,灵敏度高,一致性好,可重复使用等优点,对沙林的检测限可达0.08mg/m3。
关键词：声表面波传感器 氟化超支化聚合物 沙林 
一种新型SAW气体传感器的设计被引量：3
《压电与声光》2015年第1期20-23,共4页王露 王登攀 杜波 鄢秋娟 张静雯 唐永亮 杨靖 江洪敏 
预研基金资助项目(9140A23070113DZ36067)
提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要...
关键词：声表面波 纳米线 气体传感器 比表面积 灵敏度 
16～17GHz体声波延迟线技术研究
《压电与声光》2013年第5期620-623,共4页江洪敏 马晋毅 陈运祥 石越 伍平 余新晓 张传志 李洪平 
通过优化高频低损耗换能器设计、极薄压电薄膜生长、微波网络匹配、高频气密封外壳的电磁兼容设计等技术,研制出了工作在16～17GHz的微波声体波延迟线,其带宽为1 098MHz,延迟时间0.34μs,插入损耗-54dB,三次渡越抑制28dB,直通抑制44dB。
关键词：声体波 延迟线 换能器 压电薄膜 
一种新型PPy丙酮气体敏感膜的制备研究被引量：1
《重庆医学》2012年第36期3865-3867,3870,共4页李发科 刘巍 江洪敏 贾双荣 商亚 蒋文斌 唱凯 鲁卫平 马晋毅 陈鸣 
国家自然科学基金面上项目(81071428);重庆市自然科学基金重点项目(CSTC;2009BA5007)
目的利用羟丙基甲基纤维素(HPMC)作为模板在溶液中合成一种新型的纳米尺度的聚吡咯(PPy)颗粒,并初步探索该PPy颗粒对丙酮气体的反应性。方法吡咯单体在三氯化铁的作用下氧化形成PPy,非离子型表面活性剂HPMC在研究中作为模板以形成纳米...
关键词：丙酮 呼出气体检测 气体传感器 声表面波 聚吡咯 羟丙基甲基纤维素 
微声薄膜耦合谐振滤波器的仿真与设计被引量：1
《压电与声光》2012年第6期811-813,共3页杜波 刘善群 马晋毅 江洪敏 杨靖 徐阳 
基于Mason模型,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器的等效电路,实现了滤波器的快速仿真设计。将耦合谐振滤波器与梯形结构微声薄膜滤波器级联,改善了滤波器的矩形度、带外抑制等特性,并通过优化设计,提高了级联滤波器的相位线性度。
关键词：微声薄膜 耦合谐振滤波器 相位线性度 
微声薄膜耦合谐振滤波器有限元建模与仿真被引量：3
《压电与声光》2012年第5期672-675,共4页杜波 马晋毅 江洪敏 杨靖 徐阳 
针对一维等效电路仿真模型不能对滤波器振动模式进行仿真的局限性,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器二维和三维的有限元模型,仿真分析了滤波器在对称谐振频率和反对称谐振频率下的振动模式,并通过频率响应分析得到了滤波器的S参数。仿真结...
关键词：微声薄膜 耦合谐振滤波器 有限元 
旋涂法制备声表面波化学传感器膜的研究
《压电与声光》2012年第3期325-328,共4页付曙霞 马晋毅 江洪敏 黄发荣 
声表面波化学传感器因高灵敏、便携而快速等优点被用来检测有毒有害气体。聚合物在声表面波敏感器件表面的旋涂技术是研究的热点。用旋涂法把溶于丙酮的氟硅氧烷聚合物溶液在声表面波器件表面制备成膜。通过网络分析仪,对在基片不同的...
关键词：声表面波 化学传感器 聚合物 粘度 成膜 
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