卢凯

作品数:1被引量:6H指数:1
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供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题:超晶格薄膜微机电系统技术微机电系统热电致冷器更多>>
发文领域:一般工业技术更多>>
发文期刊:《机械工程学报》更多>>
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基于微机电系统技术的微型热电致冷器研究进展被引量:6
《机械工程学报》2010年第8期114-120,共7页任大海 卢凯 戴震宇 尤政 
介绍热电材料、热电器件的原理及发展历史,从材料及结构两方面,对基于微机电系统加工工艺的微型热电致冷器的最新研究进展进行综述,比较不同材料及不同结构的性能特点,对块体热电材料和低维热电材料的研究进展进行介绍,着重分析超晶格...
关键词:微机电系统 热电 致冷器 超晶格薄膜 
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