许凯

作品数：1被引量：1H指数：1
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半导体涂胶显影机产能分析被引量：1
《中国高新技术企业》2016年第4期71-72,共2页郑春海 许凯 
中国半导体行业发展越来越快,半导体设备的产能,即晶圆传送方法的研究在半导体装备研制的过程中的作用愈加关键。涂胶显影设备更需传片方法来指导装备的布局设计,提高装备产能,满足不同的严苛需求。文章根据半导体装备发展的历程,给出...
关键词：半导体 半导体设备 涂胶显影机 晶圆传送方法 产能计算 
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