付杰

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供职机构：长春理工大学理学院更多>>
发文主题：大高宽比X射线光刻电子束光刻电镀硬X射线更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电工程》更多>>
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硬X射线聚焦波带片的设计及制作
《光电工程》2014年第3期7-12,共6页付杰 王晓华 李金华 方铉 魏志鹏 
国家自然科学基金项目(61107032);国家自然科学基金面项目(61275170)
针对惯性约束性聚变(ICF)实验中高分辨靶源辐射成像的需要,对结合电子束光刻和X射线光刻制作大高宽比菲涅尔波带片的制作工艺进行了研究。首先采用带有自支撑薄膜的衬底进行电子束光刻和微电镀技术来制作X射线光刻掩膜,以此来降低电子...
关键词：大高宽比 X射线光刻 电子束光刻 全水电镀 
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