王敏鹏

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供职机构：沈阳理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：TIALN多层膜纳米多层膜中子CRALN更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
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CrAlN/TiAlN纳米多层膜界面结构的中子与X射线反射研究
《原子能科学技术》2016年第6期1112-1117,共6页杜晓明 王敏鹏 王燕 李新喜 张罡 黄朝强 吴二冬 
中国工程物理研究院中子物理学重点实验室开放基金资助项目(2014BB05)
采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备了CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN纳米周期膜,利用非极化中子和X射线反射对膜层厚度、膜层界面粗糙度、界面扩散等表面、界面结构和性质进行了系统研究。中子反射测得的CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN...
关键词：中子反射 CrAlN/TiAlN多层膜 界面结构 
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