陈云福

作品数：1被引量：2H指数：1
导出分析报告
供职机构：南京农业大学工学院更多>>
发文主题：AL2O3薄膜AL溅射气压介电性能无机非金属材料更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《科学技术与工程》更多>>
所获基金：江苏省科技厅基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
溅射气压对Al_2O_3薄膜的结构与电性能的影响被引量：2
《科学技术与工程》2010年第24期5985-5988,共4页杨和梅 陈云福 徐秀英 
江苏省科技厅项目(BK2005128)资助
以纯铝为靶材,在不同溅射气压下采用直流磁控反应溅射方法制备了Al2O3薄膜。用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、台阶仪、绝缘电阻仪和精密阻抗分析仪等分析了薄膜的表面形貌、化学成分、结构、薄膜厚度和电学性能。结果...
关键词：无机非金属材料 AL2O3薄膜 溅射气压 直流磁控反应溅射 介电性能 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部