全海洋

作品数：7被引量：16H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：面形波像差光学元件双通道大口径更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《计测技术》《中国激光》《激光与光电子学进展》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金四川省杰出青年科技基金更多>>
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双通道偏振复用可擦除介质型全息超表面被引量：1
《中国激光》2023年第18期209-218,共10页刘亮 周绍林 全海洋 刘俊伯 王建 胡松 
广东省自然科学基金(2022A1515010872);广州市基础与应用基础研究(202201010110)。
为进一步增强加密或存储器件的实用性与安全性,设计并实现了一种多通道偏振复用的相变全息超表面,通过在多通道全息超表面设计中引入相变介质,实现了动态的可擦除功能。当耦合相变介质层处于非晶态时,所构造的编码超表面可以产生两个独...
关键词：全息 超表面全息 相变介质 双通道复用全息 几何相位 
光刻物镜波像差绝对检测技术综述被引量：2
《光电工程》2023年第5期36-59,共24页王青蓝 全海洋 胡松 刘俊伯 侯溪 
光刻物镜是光刻机核心部件,其波像差大小决定着光刻机的分辨率和套刻精度。随着光刻机性能的逐步提升,光刻物镜波像差要求已经降低到0.5nm(RMS)以下,这对波像差的检测是一个极大的挑战。现行的光刻物镜波像差检测方法(如哈特曼法,剪切...
关键词：光刻物镜系统 光学检测 波像差 绝对检测 
光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析被引量：1
《光电工程》2023年第2期88-100,共13页杜婧 刘俊伯 全海洋 胡松 
国家重点研发计划(2021YFB3200204);中国科学院青年创新促进会(2021380)。
在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物...
关键词：畸变检测 波前检测 位移测量 投影物镜 
双差动快速结构光显微测量方法和系统
《计测技术》2023年第1期112-121,共10页唐燕 韩陈浩磊 冯金花 全海洋 王建 胡松 
国家自然基金(61875201,61975211,62005287,61604154);四川省杰出青年科技基金(2020JDJQ0005);四川省中央引导地方发展计划(2020ZYD020);四川省地方创新合作合作计划(2022YFQ0007);四川省科技项目(2018JY0203)。
快速结构光显微测量技术具有高精度、高效率以及强适应性等特点,广泛应用于微纳检测领域。传统的快速结构光显微测量方法,利用轴向调制度响应曲线的线性区域,通过构建调制度值与实际高度之间的关系来实现三维形貌重建。但是,轴向调制度...
关键词：检测 三维形貌恢复 快速结构光显微测量 双差动检测 微纳检测 
基于改进六步翻转法的平行平板面形及均匀性绝对检测方法被引量：2
《光电工程》2021年第7期23-31,共9页张帅 全海洋 侯溪 胡小川 吴高峰 
国家自然科学基金面上项目资助(61675209)。
本文提出了一种改进六步翻转法,同时实现平行平板均匀性以及绝对面形的测量,结合相应的稀疏迭代算法,进一步实现高精度的均匀性和绝对面形误差的重构。通过相应的理论分析和实验验证工作,进一步证明了该方法的有效性和达到亚纳米级检测...
关键词：光学检测 干涉计量 绝对检测 不确定度评估 
超高精度面形干涉检测技术进展被引量：9
《光电工程》2020年第8期14-26,共13页侯溪 张帅 胡小川 全海洋 吴高峰 贾辛 何一苇 陈强 伍凡 
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检...
关键词：先进光学制造 超精密光学 光学测量 面形检测 干涉检测 绝对检测 
测量不确定度在干涉面形检测领域的研究现状及进展被引量：2
《激光与光电子学进展》2015年第6期26-36,共11页全海洋 侯溪 伍凡 
评定测量不确定度是改进面形检测实验室质量的有效途径。为了促进测量不确定度在干涉面形检测领域的普及和应用,综述了近年来国内外在干涉面形检测领域中测量不确定度评估方法的研究现状和最新进展。介绍了量值溯源和测量不确定度的发...
关键词：测量 测量不确定度 干涉测量 表面面形测量 溯源性 
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