彭悦

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供职机构：四川压电与声光技术研究所更多>>
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化学腐蚀对声表面波器件性能影响分析
《压电与声光》2007年第3期253-254,共2页朱瑛 陈台琼 彭悦 
Al膜的化学腐蚀直接影响声表面波器件的可靠性,造成器件功能性失效。该文对SAW器件Al膜的化学腐蚀的机理、过程、产生的条件、对器件性能及可靠性的影响进行了分析,并对其进行了试验验证和检测,以及在生产过程中如何加以预防和控制进行...
关键词：声表面波器件 化学腐蚀 Al膜 
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