云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 刘刚

刘刚: 作品数：44被引量：151H指数：7; 导出分析报告; 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>; 发文主题：LIGA技术光刻波带片X射线MEMS更多>>; 发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《中国科学技术大学学报》《北京同步辐射装置年报》《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>

高分辨X射线成像在电池材料结构分析中的应用被引量：1: 《中国科学：化学》2023年第11期2324-2335,共12页田扬超关勇吴朝刘刚; 随着同步辐射光源及微纳加工技术的进步,X射线纳米成像方法近年来得到了长足的发展,并在能源材料、工业催化、生命科学和环境科学等多个科研领域发挥着重要作用.三维纳米分辨X射线成像技术已成为无损分析电池材料三维结构的重要工具之一...; 关键词：同步辐射 X射线纳米断层成像

一种针对不完善数据的基于全变分约束的相干衍射算法: 《中国科学技术大学学报》2020年第4期418-427,共10页江琦刘建宏关勇白浩波刘刚田扬超; Supported by National Key Research and Development Project of China (2017YFA0402904,2016YFA0400902);National Natural Science Foundation of China(11475175,11405175,11275204,11775224); X射线相干衍射成像(coherent diffraction imaging,CDI)技术是一种无透镜成像技术.其基本原理是使用高度相干的X射线光束照射孤立样品,在远场收集相干衍射图样的信息,使用CDI重构算法从衍射图样中还原出样品的真实结构信息.但是由于实...; 关键词：相干衍射成像全变分数据丢失噪声约束

大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺: 《光学精密工程》2020年第3期632-638,共7页王艺侯双月熊瑛田扬超刘刚; 国家重大科研仪器设备研制专项资助项目(No.CZBZDYZ20140002)。; 针对大高宽比微结构显影过程中由显影液的对流传质严重受限、光刻胶层厚、显影时间长带来的显影不均匀问题,提出了基于翘板式摇床辅助的显影方法。利用有限元法模拟了摇床工作时整个样品表面的流场分布以及显影液在不同高宽比微结构光...; 关键词：大高宽比光栅摇床式辅助显影沟槽深宽比均匀流场

X射线光栅相衬成像中保留源光栅的探测器校正方法被引量：1: 《原子能科学技术》2018年第1期150-155,共6页胡仁芳冯大敏吴朝高昆潘志云刘刚; 国家重大科研装备研制项目资助(CZBZDYZ20140002);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(WK2310000065); 本文提出了一种X射线光栅相衬成像探测器校正方法,该方法无需移除靠近光源的源光栅,而是将其与光源作为一个整体参与增益校正。在基于几何投影的光栅相衬成像系统上,开展了利用传统的探测器校正与本文提出的探测器校正方法的对比实验,...; 关键词：X射线成像光栅相衬成像探测器校正

基于软X射线成像菲涅耳波带片精确光学传递函数的离焦图像恢复: 《中国科学技术大学学报》2017年第11期918-923,共6页李法虎关勇熊瑛张晓波刘刚田扬超; 国家科学自然基金(11475175;11405175;11275204);国家重点研发计划(2016YFA0400902)资助; 高分辨率软X射线显微成像已被广泛用于获得样品的三维结构.然而,焦深的受限问题导致样品投影图像离焦模糊,严重影响图像质量.提出了一种基于菲涅尔波带片的光学传递函数离焦图像的恢复方法.利用这种恢复方法,恢复了Siemens star测试板...; 关键词：光学传递函数 X射线显微成像图像恢复菲涅耳波带片

软X射线纳米CT综述被引量：3: 《中国科技论文》2017年第5期477-483,共7页关勇梁知挺刘刚田扬超; 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2012340213002);国家自然科学基金资助项目(11275204;11475175;11405175);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2012CB825804); 为了展现X射线纳米CT的相关性能和应用价值,本文介绍了软X射线纳米CT的基本原理和特性、数据预处理和重构方法,通过若干典型例子展示了软X射线纳米CT在不同科学领域的应用及成果,展现了其在含水生物样品研究方面的独特性和优越性。最后...; 关键词：软X射线成像细胞三维成像水窗

光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析: 《新技术新工艺》2016年第9期66-69,共4页柏杨张晓波熊瑛刘刚田扬超; 国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2012CB825804); 具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米...; 关键词：微纳加工结构失效严格耦合波分析偏振

脉冲电镀优化金镀层性能的工艺研究被引量：6: 《新技术新工艺》2016年第9期7-11,共5页陈楠熊瑛郭亮田扬超刘刚; 国家重点基础研究发展计划(973项目)(2012CB825804); 镀金工艺是许多大高宽比微纳结构实现其功能化的重要技术手段。由于其结构的特殊性,往往需要获得晶粒小、致密均匀的金镀层,才能满足微纳元器件的需求。针对微纳米结构金属化的要求,研究了柠檬酸金钾脉冲电镀工艺,通过正交试验法确定了...; 关键词：正交试验法脉冲镀金微纳结构

基于X射线相衬成像技术的光栅品质无损检测（英文）: 《中国科学技术大学学报》2016年第8期642-651,共10页张灿王圣浩韩华杰杨萌邵其刚胡仁芳高昆刘刚; Supported by the Major State Basic Research Development Program(2012CB825800);the Science Fund for Creative Research Groups(11321503);the Knowledge Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences(KJCX2-YWN42);the National Natural Science Foundation of China(11179004,10979055,11205189,and 11205157);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(WK2310000021); 提出了一种基于X射线光栅像衬成像技术的光栅品质无损检测方法.我们发现利用传统的吸收信号很容易检测到光栅电镀缺陷,而由非均匀紫外曝光导致的光栅缺陷则可以通过相衬信号进行检测.实验结果证明,在一种利用实验室光源同时产生吸收信...; 关键词：X射线相衬成像无损检测光栅品质工业运用

基于纳米CT技术研究运行后Ni-YSZ阳极三维微结构变化被引量：2: 《核技术》2016年第6期9-14,共6页郭鹏飞关勇刘刚田扬超; 国家自然科学基金(No.11275204;No.11475175;No.11405175;No.11205189);国家重点基础研究发展计划(973计划)(No.2012CB825804)资助~~; 固体氧化物燃料电池(Solid Oxide Fuel Cell,SOFC)阳极不仅提供了电化学反应的三相界面(Three-phase boundary,TPB)区域,而且在物质传输、扩散和燃料电池反应中不同物质之间的隔离起到积极作用。在运行期间,电极微结构发生变化。对SOFC...; 关键词：X射线成像复合阳极三维结构连通性

刘刚