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检索条件:"关键词=微型电化学氨气传感器 "
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用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究被引量:1
《电子与信息学报》2012年第5期1257-1262,共6页卞贺明 边超 佟建华 孙楫舟 张虹 韩泾鸿 夏善红 
国家973计划项目(2009CB320300);国家自然科学基金(60971070;61072023)资助课题
该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实...
关键词:微型电化学氨气传感器 三维微纳器件 水质监测 氨氮 
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