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微悬臂梁横向弹性系数标定技术被引量：2
《传感器与微系统》2012年第8期60-63,共4页包汉瑜 吴森 吴瑶瑶 
国家自然科学基金资助项目(51075297)
微悬臂梁是新型力学传感器的关键部件,其性能决定力学测试结果的准确度。为了定量研究微悬臂梁与样品表面间的相互作用力,须对微悬臂梁的力学性能进行表征。提出了一种新的微悬臂梁横向弹性系数标定方案:采用精密天平和光杠杆分别测得...
关键词：微悬臂梁 横向弹性系数 标定 天平 
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