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预置曲率研磨盘提高行星研磨技术去除函数稳定性被引量：3: 《光学精密工程》2021年第7期1620-1630,共11页海阔曾雪锋李锐钢李英杰李龙响张学军; 国家自然科学基金资助项目(No.61975201,No.11903035,No.61605202,No.52005463);国家重点研发计划(No.2017YFA0701200)。; 行星研磨技术由于提升磨削接触点相对速度,能够有效提高材料去除效率。但由于传统研磨盘不均匀磨损,导致研磨盘形状持续改变,从而影响了研磨过程中去除函数的稳定性和准确性,限制了该技术的应用。本文针对基于小磨头行星运动方式,通过...; 关键词：光学加工行星运动研磨研磨盘磨损模型去除函数稳定性

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