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检索条件："关键词=粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模型 "
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不同频率驱动下容性耦合Ar等离子体随气压变化的放电特性
《核聚变与等离子体物理》2023年第4期482-488,共7页袁强华 刘珊珊 殷桂琴 秦彪 
国家自然科学基金(11665021)。
讨论了在驱动频率分别为13.56MHz、40.68MHz、94.92MHz和100MHz,功率为40W,气压由3.3~26.6Pa下的容性耦合Ar等离子体的放电特性。利用光谱相对强度法分别诊断了电子激发温度和电子密度。采用粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模型(PIC/MCC),模拟...
关键词：容性耦合氩等离子体 发射光谱法 粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模型 
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