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适于纳米探针电性能测试的SRAM样品制备方法
《半导体技术》2020年第5期404-408,共5页曹守政 庞凌华 钱洪涛 
在先进制程静态随机存储器(SRAM)单比特失效的分析过程中,SRAM样品制备是关键,传统研磨方法制备的样品其表面容易出现钨栓缺失的问题。利用离子精密刻蚀仪制备用于纳米探针电性能测试的SRAM样品。通过刻蚀仪改变刻蚀能量和刻蚀角度来制...
关键词：失效分析 样品制备 精密刻蚀 纳米探针 静态随机存储器(SRAM) 
激光全息防伪技术的发展被引量：2
《中国品牌与防伪》2022年第7期64-65,共2页鲁琴 马雅玲 熊丽端 
激光全息防伪材料因激光全息图像的复杂性和仿制难度在防伪领域得到了广泛的关注和应用,但目前的全息防伪方式仍存在漏洞,为名品企业带来了巨大的经济和口碑损失。为了进一步杜绝制假造假的途径,作者提出从结构入手,打造两种防翻版复制...
关键词：激光全息防伪技术 精密刻蚀 全息变彩膜 
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