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检索条件："关键词=谐振式硅微结构传感器 "
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谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪被引量：1
《仪表技术与传感器》2009年第B11期244-245,251,共3页李庆丰 邢维巍 樊尚春 
提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器,用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题,并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测...
关键词：谐振式硅微结构传感器 测试仪器 智能仪器 微弱信号处理 
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