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扫描探针显微镜中压电执行器回滞非线性软计算建模及其实时补偿: 《电子显微学报》2003年第4期331-337,共7页黄自元刘辉费敏锐; 上海市科委纳米科技专项基金资助项目 ( 0 2 14nm0 90 );国家科技部攀登项目 (国科基字 [2 0 0 0 ] 0 2 6号 ); 本文提出了自适应范围DNA(AdaptiveRangeDNA ,简称ARDNA)软计算模型框架以及扫描探针显微镜 (简称SPM)中压电执行器回滞非线性ARDNA建模及其补偿原理。基于基本回滞算子的线性叠加构建压电执行器回滞非线性模型结构 ,采用ARDNA软计算方...; 关键词：扫描探针显微镜压电执行器软计算模型 ARDNA软计算逆回滞模型反馈控制器磁流变液体

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