纳米压印光刻脱模和模具的研究  

作　　者：毕洪峰 崔岩[1] 张富饶[1] 

机构地区：[1]山东省青岛市青岛理工大学机械工程学院,山东 烟台 266520

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2015年第8期00124-00124,共1页

摘　　要：纳米压印技术在发光二极管具有广泛的应用,针对LED纳米图形化面临的问题,纳米压印的研究是非常重要的。但是目前纳米压印在脱模和模具等关键技术上存在不足,亟待解决,本文针对脱模和模具这两个问题进行初步的研究。

关 键 词：纳米压印 脱模 模具 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]