晶片键合技术及其在微电子学中的应用  

作　　者：陈青青 

机构地区：[1]安徽池州高新技术产业开发区管委会,安徽 池州 247000

出　　处：《中国科技期刊数据库 科研》2016年第2期00076-00076,共1页

摘　　要：随着科学技术的不断进步,晶片键合技术得到了广泛的应用,而且也发挥出了日益显著的作用。基于此,首先晶片键合的基本原理和要求进行了分析,接着又详细的介绍了该技术在微电子学领域的具体应用,希望对相关工作能够提供一定的借鉴和帮助。

关 键 词：晶片键合 微电子 应用 

分 类 号：TN36[电子电信—物理电子学]