GaN基LED外延片含氨废气的处理和回收利用  

作　　者：赵培 薛群 王璠 

机构地区：[1]江苏智环科技有限公司,江苏 扬州 225007 [2]江苏璨扬光电有限公司,江苏 扬州 225600

出　　处：《中国科技期刊数据库 科研》2016年第7期00167-00167,169,共2页

摘　　要：GaN基LED外延片生产过程中产生MOCVD含氨废气,需进行处理后才能达标排放。对常用的集中处理方法进行分析,指出了传统处理工艺存在的缺点。从资源综合利用的角度考虑,对传统的吸收法进行改进,采用“过滤+三级水吸收+一级稀硫酸吸收”工艺处理MOCVD含氨废气,可回收废气中97%的氨,制成浓度约20%的工业用氨水,对行业的节能减排有促进作用。

关 键 词：LED外延片 MOCVD 含氨废气 氨水 

分 类 号：TN312.8[电子电信—物理电子学]