对超纯水系统中排放水处理技术的探讨  

作　　者：雷科奇 

机构地区：[1]中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏 无锡 214000

出　　处：《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2017年第1期00259-00259,261,共2页

摘　　要：超纯水一般用于湿制程(Wet Process)上,利用超纯水去除杂质及防止在芯片或玻璃上形成氧化膜,故若水质不良,非但不能去除不必要杂质,且会造成产品污染而影响品质。针对超纯水产水效率低,在目前纯水制备系统基础上,为提高产水效率,采用增加一套反渗透系统,对原有纯水系统排放水进行收集处理, 提高了水资源利用率,降低了超纯水制备成本。

关 键 词：超纯水 排放水处理 应用 

分 类 号：TU991.2[建筑科学—市政工程]