超纯水

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中国工程建设标准化协会标准《电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程》审查会顺利召开
《工程建设标准化》2025年第3期24-24,共1页卢希 
1月21日,由中国电子工程设计院股份有限公司会同有关单位编制的中国工程建设标准化协会标准《电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程》(以下简称《规程》)审查会在北京召开。中国工程建设标准化协会电子工程分会、审查专家...
关键词：分会秘书长 总有机碳 超纯水 起草人 单位编制 应用技术规程 紫外线 编制过程 
半导体行业超纯水处理系统的调试与分析
《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》2025年第2期039-042,共4页张勇 
本文详细分析了某公司超纯水处理系统的试运行过程,重点讨论了调试过程中遇到的技术难点及其解决方案。该系统采用两级抛光、两级超滤等处理工艺,可有效去除水中大分子有机物及金属离子等杂质,达到超纯水中金属离子浓度<0.1 ppt的严苛...
关键词：半导体硅片 超纯水处理系统 系统调试 
Power-to-X在电解水制氢中的应用
《流程工业》2025年第1期44-46,共3页Christopher Lenz 
质子交换膜电解(PEM电解)在Power-to-X技术中,尤其是在氢气制备方面,起着至关重要的作用。随着清洁能源需求的增长,PEM电解作为一种高效、紧凑且响应迅速地水电解技术,受到了广泛关注。在此背景下,超纯水作为PEM电解过程中的核心原料,...
关键词：电解水制氢 超纯水 氢气制备 氢气生产 质子交换膜 电解过程 清洁能源 POWER 
封面故事
《物理》2024年第12期M0003-M0003,共1页刘蕾 
江门中微子实验(JUNO)是由中国科学院高能物理研究所主导的研究基本粒子物理的大型基础科学国际合作项目。也是继大亚湾反应堆中微子实验后,由高能所主导的第二个中微子实验项目。江门中微子实验位于广东江门开平市,以测量中微子质量顺...
关键词：中微子 液体闪烁体 封面故事 不锈钢网 国际领先地位 探测设备 广东江门 超纯水 
某电子洁净厂房超纯水方案设计
《中国建筑金属结构》2024年第S02期38-40,共3页赵立德 屈红超 
在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子洁净厂房设计时,工艺设备通常需要超纯水(18.2MΩ·cm)进行清洗,本文通过超纯水系统方案设计、供水管路系统、纯水管材选择等的介绍,以期为超纯水系统设计提供参考。
关键词：电子洁净厂房 超纯水 半导体 
浅谈离子交换树脂在超纯水处理中的应用
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2024年第11期039-042,共4页李建明 
在半导体行业的超纯水处理过程中,离子交换树脂是不可或缺的。因为超纯水的质量要求非常高,仅含极低的杂质和离子浓度,而水中的微量离子和杂质对超纯水质量产生极大的影响,因此必须采取有效的处理手段。通过离子交换树脂,可以使超过99%...
关键词：离子交换树脂 阳离子 阴离子 超纯水 树脂再生 
超纯水系统国产除硼树脂的筛选及应用研究
《工业水处理》2024年第11期155-160,共6页田宇鸣 熊江磊 潘婷 陈炜彧 
硼是超纯水水质的关键指标之一,可通过除硼树脂去除,但市场上除硼树脂主要被国外企业垄断,国产树脂应用少,运行参数和稳定性不明确,市场推广难度大。通过除硼树脂静态吸附试验和连续流中试,开展对典型国产除硼树脂的性能评价和项目应用...
关键词：除硼树脂 超纯水 硼吸附量 TOC溶出 
半导体超纯水中微粒子监测故障与对策
《洁净与空调技术》2024年第3期53-56,共4页温鑫 郑伟 顾凯凯 蔡鹏鹏 杨文杰 李霆 韩迪凯 
国家重点研发计划“政府间国际创新合作”重点专项(2023YFE0114100)。
微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预...
关键词：超纯水 超纯水制备系统 配送点 微纳气泡 微粒子 激光粒子计数器 
电子超纯水制备过程典型痕量有机污染物去除机理
《工业水处理》2024年第9期176-180,共5页田宇鸣 熊江磊 章洪斌 高康 
基于某12寸半导体超纯水中试线,对超纯水系统各处理单元总有机碳(TOC)去除过程及有机组分分子质量分布情况进行了跟踪检测,探究了有机碳紫外降解(TOC-UV)装置照射强度、水力停留时间和有机物分子键能对水中典型痕量有机污染物去除效果...
关键词：超纯水 总有机碳 TOC-UV 小分子有机物 
某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析
《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第9期0127-0131,共5页章星异 
文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产...
关键词：12寸超纯水系统 两床三塔 抛光树脂 膜脱气 终端超滤 
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