超纯水制造技术及相关问题之研究  

作　　者：纪桂飞 

机构地区：[1]苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司,江苏 苏州 215000

出　　处：《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2017年第4期00178-00178,共1页

摘　　要：超纯水指的是电阻率为18MΩ*cm(25℃)的水,其在现代工业中有着广泛应用,其主要应用在半导体原材料以及相应器皿等各项材料的清洗中。除此之外,各种固态电子器件、印刷电路、薄膜和厚膜电路等操作中也都会对超纯水进行应用。

关 键 词：超纯水 生产技术 半导体 

分 类 号：V261.6[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]