基于氧化铪薄膜的石墨烯场效应管太赫兹波调制器  

作　　者：王宇[1] 

机构地区：[1]电子科技大学,四川成都611731

出　　处：《中国科技期刊数据库 科研》2019年第2期66-67,共2页

摘　　要：太赫兹波调制器是太赫兹通信系统中的关键功能器件之一,对于推进太赫兹通信技术的发展有着重要意义,是太赫兹研究领域的热点之一。本文通过原子层沉积系统在硅基片上制备高k栅介质材料氧化铪,之后转移石墨烯薄膜至介质层之上,通过磁控溅射制备电极,组成石墨烯场效应晶体管。该结构通过栅压控制石墨烯薄膜中载流子浓度,由此改变太赫兹波的透射率,达到调制太赫兹波的目的。

关 键 词：原子层沉积 氧化铪薄膜 太赫兹波调制器 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]