原子层沉积

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基于ALD的高深宽比微孔光学元件内壁Al2O3薄膜研究
《微纳电子技术》2025年第5期94-100,共7页李明轩 唐吉龙 
国家自然科学基金(62027820)。
在微纳光学以及半导体领域中,高深宽比器件如三维芯片、集成电路、微通道板等十分常见。而由于其本身内部结构的复杂性,在器件内部进行薄膜沉积时,高精度的薄膜生长技术至关重要。主要研究了在高深宽比微孔光学器件中,使用原子层沉积(A...
关键词：原子层沉积(ALD)技术 微孔光学 高深宽比 氧化铝薄膜 薄膜均匀性 
气体流场对原子层沉积设备成膜质量的影响
《现代机械》2025年第2期48-52,共5页杨华龙 
针对原子层沉积成膜过程中,重要的真空腔室气流分布均匀性做了一系列研究,通过ANSYS仿真软件建立了腔室内的流场模型,然后通过设定喷淋板孔的数量、极间距以及抽气孔排布进行调整,再通过热反应原子层沉积设备实验分析气流分布均匀性与...
关键词：原子层沉积 气流分布 均匀性 仿真 
原子层沉积氢掺杂氧化铟(InO_(x):H)薄膜的制备与性能研究
《真空与低温》2025年第2期133-139,共7页徐梁格 渠怀志 滕祥青 杨磊 张善勇 朱嘉琦 
国家自然科学基金重点项目(52032004)。
红外透明导电材料能够同时具备优异的红外透过率与良好的电学性能,通过调控薄膜中的载流子迁移率与载流子浓度,可以兼顾良好的电学性能与高红外透过率。通过对沉积工艺参数的优化,系统分析了InO_(x):H薄膜的生长速率、微观结构以及光电...
关键词：原子层沉积 氢掺杂氧化铟 迁移率 红外透明导电 
原子层沉积工艺对TOPCon太阳电池电性能的影响研究
《太阳能》2025年第3期82-89,共8页朱少杰 王贵梅 程雅琦 王玉肖 许志卫 
针对采用原子层沉积(ALD)工艺制备的Al_(2)O_(3)薄膜对TOPCon太阳电池电性能的影响进行了研究。研究结果显示:1)空间型沉积方式下制备得到的Al_(2)O_(3)薄膜厚度为9 nm时与时间型沉积方式下制备得到的Al_(2)O_(3)薄膜厚度为5 nm时得到的...
关键词：原子层沉积 时间型沉积方式 空间型沉积方式 AL2O3薄膜 TOPCon太阳电池 电性能 
基于Fluent仿真的原子层沉积法制备镀膜毛细管研究
《光子学报》2025年第3期242-252,共11页赵慧斌 李艳丽 吕文思 孔祥东 韩立 张贺 
国家重点研发计划(No.2019YFB1503502);国家自然科学基金(No.12104454);中国科学院电工研究所基金(No.E1554404)。
采用Fluent仿真工具对三种模型下气体在毛细管内的流通过程进行模拟,通过稳态和瞬态仿真,系统研究了不同模型下,气体在腔室和毛细管内的扩散过程。仿真结果显示,当毛细管与一个出气口连接,其余出气口全部打开时,流经毛细管的气体充足,...
关键词：Fluent仿真 原子层沉积 毛细管 内表面镀膜 气体扩散 
用于C/SiC高温复合材料应力测试的薄膜应变计制备及性能研究
《计测技术》2025年第1期80-87,共8页张煜杰 裴伟钦 唐逸杰 蒋洪川 
国家重点研发计划项目(2021YFB3801700);航空科学基金项目(20230046080008)。
针对C/SiC复合材料表面高温应变测量的难题,提出基于高温无机胶平坦化处理、磁控溅射技术和原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)的薄膜应变计制备方法。采用刷涂无机胶的方式,实现C/SiC复合材料表面的平坦化,之后利用磁控溅射和原...
关键词：C/SIC复合材料 应变灵敏系数 绝缘电阻 复合绝缘层 磁控溅射 原子层沉积 
钠离子电池层状氧化物正极材料的表界面修饰改性及其产气抑制效应
《无机化学学报》2025年第2期254-266,共13页朱晓天 黄方鼎 朱文昌 赵建庆 
江苏省基础研究计划自然科学基金面上项目(No.BK20221238)资助。
基于原子层沉积技术(ALD)制备TiO_(2)和Al_(2)O_(3)纳米层并结合高温热处理优化工艺,研究了异质氧化物双层表面包覆和晶格内双阳离子梯度掺杂的2种表界面修饰法对NaNi_(1/3)Fe_(1/3)Mn_(1/3)O_(2)(NFM)正极材料电化学储钠性能和热稳定...
关键词：NaNi_(1/3)Fe1/3Mn_(1/3)O_(2) 原子层沉积 TiO_(2)@Al_(2)O_(3)双层包覆 双阳离子共掺杂 原位产气机理 原位差分电化学质谱 
ALD沉积超薄涂层改善高镍LiNi_(0.96)Co_(0.03)Mn_(0.01)O_(2)正极材料的电化学性能
《电池工业》2025年第1期13-18,23,共7页郑瑶 李荐 王利华 李恩熙 
湖南省自然科学基金(2021JJ30794);湖南省科技创新计划(2022RC1086)。
富含镍的层状氧化物正极存在结构不稳定性等问题,特别是当镍含量(质量分数)超过90%时,其循环性能急剧恶化。为了解决高镍材料在长循环和大倍率下容量衰减的问题,本文以LiNi_(0.96)Co_(0.03)Mn_(0.01)O_(2)(NCM9631)正极材料为研究对象,...
关键词：原子层沉积 锂离子电池 高镍正极材料 TiO_(2) Al_(2)O_(3) NCM9631 
色谱柱内加氢法分析1-己烯纯度和烃类杂质组成
《分析试验室》2025年第1期128-132,共5页李继文 贾臻龙 宋诗瑶 叶迎春 姜丽燕 
采用原子层沉积(ALD)技术制备Pt加氢催化剂,并进一步制备Pt加氢微填充柱。通过一个六通切换阀和非极性色谱柱,建立了1-己烯纯度及烃类杂质的分析方法。通过阀切换,在一台色谱仪上实现了1-己烯样品加氢前后的分析,解决了单根色谱柱上1-...
关键词：原子层沉积 Pt加氢催化剂 色谱 1-己烯 纯度 烃类杂质 
Pt助剂的尺寸调控及其对光催化CO_(2)制CH_(4)性能的影响被引量：1
《燃料化学学报（中英文）》2024年第12期1798-1809,共12页陈瑶 陈朝秋 郝文韬 王文龙 熊昆 覃勇 
国家自然科学基金(22372190);中国科学院山西煤炭化学研究所自主创新项目:基础研究项目(SCJC-2023-20);山西省科技创新人才团队专项(202304051001007);环境友好能源材料国家重点实验室开放基金(21kfhg12)资助。
铂是光催化二氧化碳(CO_(2))还原制甲烷(CH_(4))最有效的助催化剂之一,但仍面临CO_(2)还原速率和CH_(4)选择性低的难题。本研究利用原子层沉积(ALD)制备了Pt颗粒尺寸可调(0.55-1.80 nm)的Pt/TiO_(2)催化剂并将其用于光催化还原CO_(2)制C...
关键词：CO_(2)还原 Pt助剂 尺寸效应 原子层沉积 
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