原子层沉积

作品数：428被引量：575H指数：10
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《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9108H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《物理学报》
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作品数：30001被引量：93746H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《半导体技术》
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作品数：8069被引量：10790H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《微纳电子技术》
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作品数：4620被引量：7316H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《材料导报》
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作品数：20793被引量：92262H指数：61
issn：1005-023Xcn：50-1078/TB
主办单位：重庆西南信息有限公司（原科学技术部西南信息中心）
发文主题：力学性能 复合材料 性能研究 改性 纳米材料
发文领域：一般工业技术 化学工程 金属学及工艺 理学 建筑科学
《真空》
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作品数：4802被引量：6194H指数：23
issn：1002-0322cn：21-1174/TB
主办单位：中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
发文主题：真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 冶金工程
《半导体光电》
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作品数：5786被引量：11414H指数：26
issn：1001-5868cn：50-1092/TN
主办单位：重庆光电技术研究所
发文主题：半导体激光器 CCD 光纤 光纤光栅 光纤通信
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
《表面技术》
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作品数：8984被引量：29903H指数：36
issn：1001-3660cn：50-1083/TG
主办单位：中国兵器装备集团西南技术工程研究所
发文主题：涂层 耐蚀性 电镀 激光熔覆 化学镀
发文领域：金属学及工艺 化学工程 一般工业技术 机械工程 理学
《发光学报》
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作品数：6692被引量：13950H指数：32
issn：1000-7032cn：22-1116/O4
主办单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国物理学会发光分会
发文主题：光致发光 EU 英文 发光 发光特性
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 化学工程
《人工晶体学报》
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作品数：10409被引量：19980H指数：27
issn：1000-985Xcn：11-2637/O7
主办单位：中材人工晶体研究院有限公司
发文主题：晶体生长 晶体 水热法 性能研究 晶体结构
发文领域：理学 化学工程 一般工业技术 电子电信 电气工程
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