《真空科学与技术学报》

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《真空科学与技术学报》
主办单位：中国真空学会
最新期次：2025年3期更多>>
发文主题：磁控溅射真空性能研究数值模拟等离子体更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文作者：杨斌巴德纯戴永年刘大春陈长琦更多>>
发文机构：合肥工业大学中国科学院东北大学中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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同步辐射弯铁真空紫外光束线气体滤波系统仿真与设计
《真空科学与技术学报》2025年第3期171-179,共9页何子阳 范海涛 毕海林 王旭迪 杨玖重 
国家重点研发计划项目(2023YFC2205702)。
气体滤波系统利用稀有气体(如氩气、氖气、氦气等)在电离能以下吸收弱、在电离能以上吸收强的特性,用于过滤同步辐射真空紫外光束线由光栅衍射带来的高次谐波。文章通过角系数方法辅助气体滤波系统设计,仿真分析了已有的燃烧光束线气体...
关键词：气体滤波系统 分子束流 同步辐射 
结构参数对真空触发开关输出脉冲电流上升率的影响研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期180-188,共9页柏昕澎 陈占清 吝伶艳 郭烘瑛 康爱亮 雷志鹏 廖敏夫 
国家自然科学基金项目(52177131);山西省“1331工程”提质增效建设计划项目(晋教科[2021]14号);山西省基础研究计划项目(202203021212225,202203021212274)。
为提升真空触发开关的放电功率,满足脉冲功率系统对大功率开关器件的需求,文章对影响真空触发开关(Triggered vacuum switch,TVS)输出脉冲电流上升率的相关结构参数进行研究。首先结合理论计算,明确结构电感与电弧电阻变化对TVS电流上...
关键词：真空触发开关 电流上升率 电极结构 电弧等离子体 电弧扩散 
10 K~50 K液氦温区活性炭吸附氢气特性的分子动力学模拟计算
《真空科学与技术学报》2025年第3期189-196,共8页连振午 朱仁胜 陈长琦 谢远来 
国家重大科技基础设施项目(2018-000052-73-01-001228)。
文章基于石墨片微元构建了四种不同孔径结构的活性炭模型,采用巨正则蒙特卡罗方法(GCMC)和分子动力学方法(MD)对10 K~50 K温区不同孔径的活性炭结构模型对氢气的吸附特性进行了模拟研究。通过对吸附位点、径向分布函数和均方位移的分析...
关键词：活性炭 巨正则蒙特卡洛 径向分布函数 吸附等温线 
直流横磁真空灭弧室电弧运动特性影响因素分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期197-204,共8页刘晓明 赵媛媛 陈海 闻福岳 
国家自然科学基金面上项目(No.52177139)。
在故障开断过程中,横磁真空灭弧室内部的金属蒸气电弧等离子体受横向磁场的作用沿触头表面高速运动,电弧动态演化行为直接影响真空断路器的开断性能。文章结合断路器机构运动特性曲线,建立12 kV/1250 A/25 kA真空灭弧室横磁触头系统三...
关键词：真空断路器 真空电弧等离子体 横向磁场 操作机构 
基于低气压CVD法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期205-214,共10页黄宇鹏 袁吉仁 黄海宾 
国家自然科学基金项目(No.11964018);江西省自然科学基金项目(20224BAB202032);赣鄱俊才支持计划项目(20232BCJ22026);中央引导地方科技发展资金项目(20231ZDE04023);江西省重点研发计划项目(20243BBG71022);山西省科技厅项目(202101060301016);吕梁市科技局项目(2022JBGS01)。
在热丝化学气相沉积法大面积均匀沉积非晶硅薄膜时,利用CFD流体仿真软件,对反应室腔体建立了精确的连续流体和传热模型。以常规工艺参数为基准,遵循单一控制变量原则,设计系列试验分析了不同热丝工艺参数对基底表面温度和气体流速的具...
关键词：热丝化学气相沉积 热流场 工艺参数 镀膜均匀性 
罗茨轮廓的中轴构造法及其叶属性分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期215-221,共7页时杉杉 安晶 
山西省“十四五”规划课题项目(GH-230177)。
为进一步提升罗茨泵的潜在性能和完善转子轮廓的现有顶轴构造法,提出了基于中轴的两种构造新方法;以抛物线的应用为例,首先以任一共轭点处的啮线距和传动角为构造参数,共轭点的横坐标为构造变量,建立出共轭轮廓的互构方程;其次由待定轮...
关键词：罗茨转子 叶轮廓 中轴构造法 顶轴构造法 形状系数 抛物线 
八面体模型理论应用:泡沫金属的比表面积
《真空科学与技术学报》2025年第3期222-228,共7页刘培生 顷淮斌 
基于作者从自建八面体模型出发提出的多孔材料比表面积计算公式,对系列泡沫金属及相关多孔产品进行对应的实践研究。考察不同材质和不同结构的泡沫金属产品,对该计算公式展开系列的实践应用和验证。考察对象中既有孔隙率超过90%的高孔...
关键词：多孔材料 泡沫金属 比表面积 计算公式 八面体模型 
基于Zemax的三片式照相物镜设计与优化
《真空科学与技术学报》2025年第3期229-235,共7页王宏哲 李渊 
上海市大学生创新创业训练计划项目(S202211458041);上海电机学院引进人才科研启动项目(B1-0288-22-007-05-008);上海电机学院校级重点课程建设项目(A1-0224-24-002-02-027);上海电机学院教材建设项目(A1-0224-24-002-02-082)。
对于三片式照相物镜的设计,首先,根据设计要求从已有专利、文献中选取一个与其相近的系统作为原始系统。其次,利用Zemax光学设计与仿真软件对初始结构进行整体缩放,直至符合设计要求值。最后,分别通过优化镜头诸面的面形参数及调制传递...
关键词：三片式照相物镜 ZEMAX 光学设计 
基于喷嘴距可调的锥-柱形与圆柱形混合室喷射器性能对比分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期236-247,共12页陈洪杰 葛敬 陈柄旭 谭丽萍 梁文良 卢苇 
广西自然科学基金项目(2022GXNSFBA035512)。
合理选择混合室结构是提高蒸气喷射器系统性能的重要途径。在喷嘴距和截面比可调的情况下研究了锥-柱形与圆柱形混合室喷射器的临界性能差异,并通过引入热力学完善度和熵产率模型,对这两种喷射器进行全面对比。结果表明:与圆柱形混合室...
关键词：蒸气喷射器 混合室 临界性能 多目标优化 熵产率 热力学完善度 
MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
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