热丝化学气相沉积

作品数：178被引量：401H指数：9
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基于低气压CVD法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期205-214,共10页黄宇鹏 袁吉仁 黄海宾 
国家自然科学基金项目(No.11964018);江西省自然科学基金项目(20224BAB202032);赣鄱俊才支持计划项目(20232BCJ22026);中央引导地方科技发展资金项目(20231ZDE04023);江西省重点研发计划项目(20243BBG71022);山西省科技厅项目(202101060301016);吕梁市科技局项目(2022JBGS01)。
在热丝化学气相沉积法大面积均匀沉积非晶硅薄膜时,利用CFD流体仿真软件,对反应室腔体建立了精确的连续流体和传热模型。以常规工艺参数为基准,遵循单一控制变量原则,设计系列试验分析了不同热丝工艺参数对基底表面温度和气体流速的具...
关键词：热丝化学气相沉积 热流场 工艺参数 镀膜均匀性 
热丝CVD法大批量制备金刚石涂层刀具工艺的温度场仿真优化
《应用物理》2024年第12期779-788,共10页阮宇翔 
本文针对热丝化学气相沉积法(HFCVD)技术批量制备金刚石涂层刀具的质量均匀性,通过模拟分析了基体温度场分布。利用正交实验设计,研究了热丝高度(H)、热丝间距(D)和热丝长度(L)三个热丝排布参数对基体温度分布的影响。仿真结果显示,通...
关键词：温度场仿真 热丝化学气相沉积 金刚石涂层刀具 有限元分析 
CVD金刚石膜研究进展
《真空科学与技术学报》2024年第10期841-852,共12页权乐 
江钻公司科研项目(JZ2022002-4)。
金刚石由于其优异的声、光、电、热和力学性能,是重要的功能材料之一。金刚石的制备方法主要有高温高压方法和低压化学气相沉积方法。化学气相沉积法因制备得到的样品质量高、面积大,设备简单、可规模化等特性,是合成金刚石膜的重要方...
关键词：金刚石膜 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 热丝化学气相沉积 燃烧火焰化学 气相沉积 
Si_(3)N_(4)基底表面粗糙度对HFCVD法制备金刚石薄膜摩擦学性能的影响
《金刚石与磨料磨具工程》2023年第5期604-611,共8页王贺 温凯翔 闫广宇 王延祥 靳一帆 SU Peichen 
国家自然科学基金(51942507);学科创新引智项目(D18017);耐磨及功能薄膜制备与应用研究(G2022006012L);陶瓷轴承材料基体复合涂层制备及其性能研究(2022JH2/101300234);中央军委科学技术委员会项目(20-163-00-TS-006-002-11)。
采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapour deposition,HFCVD)在不同表面粗糙度的Si3N4基底表面制备金刚石薄膜,并对薄膜的特性进行检测与分析。利用场发射电子扫描显微镜、原子力显微镜检测植晶后的Si3N4基底表面以及制备...
关键词：氮化硅 表面粗糙度 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 耐磨性 
面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率被引量：2
《上海交通大学学报》2023年第8期1078-1085,共8页李维汉 乔煜 疏达 王新昶 
国家自然科学基金(52175423);上海市自然科学基金(22ZR1433200);广东省重点领域研发计划项目(2020B010185001)。
金刚石具有极高的导热系数,在热管理中具有广阔的应用前景.基于热丝化学气相沉积法,采用多次沉积工艺在碳化硅表面制备了金刚石厚膜.采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石膜进行了表征,系统地研究了热丝功率、碳源浓度和反应压力等...
关键词：热丝化学气相沉积 金刚石膜 生长速率 质量 散热 
化学处理对刀具表面金刚石涂层薄膜的影响研究
《工具技术》2023年第4期23-28,共6页马骏 曾祥才 吴春涛 汪辉 
阐述了热丝化学气相沉积法(HFCVD)涂覆金刚石涂层时,采用Murakami溶液和HNO3溶液进行化学预处理对刀具表面金刚石涂层薄膜的影响。采用扫描电子显微镜、能谱仪和拉曼光谱仪进行检测,结果表明,硬质合金中的黏结相Co元素和表面粗糙程度对...
关键词：硬质合金 预处理 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 刀具 涂层 
化学前处理对硬质合金基材及金刚石涂层性能的影响被引量：1
《材料研究与应用》2023年第1期130-135,共6页傅上 林松盛 范舒瑜 苏一凡 曾瑞霖 石倩 代明江 
广东省重点区域研发计划项目(2020B010185001);广东省科学院发展专项资金项目(2021GDASHY-0107,2022GDASZH-2022010103)。
为提高金刚石涂层与硬质合金基体的适配性,采用热丝化学气相沉积技术在YG6硬质合金表面制备金刚石涂层,利用扫描电镜、能谱仪、原子力显微镜和固体颗粒冲蚀试验仪分析检测了试样的表截面形貌、成分深度分布、表面粗糙度、抗砂粒冲蚀性能...
关键词：化学前处理 硬质合金 金刚石涂层 热丝化学气相沉积 
硼掺杂金刚石涂层拉丝模具的制备与应用
《山西冶金》2023年第1期18-21,共4页马骏 曾祥才 姚毅 
采用热丝化学气相沉积法制备出硼掺杂金刚石薄膜,激发出了金刚石薄膜的电学性能,结合金刚石薄膜在工具方向的应用,成功制备出硼掺杂金刚石涂层拉丝模具,在硼掺杂金刚石薄膜制备过程中使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和显微拉曼光谱仪...
关键词：硼掺杂金刚石薄膜 拉丝模具 慢走丝切割 硬质合金 热丝化学气相沉积 
石墨基底上制备TaC纳米颗粒的研究被引量：1
《浙江工业大学学报》2022年第6期671-678,共8页陈成克 姜从强 蒋梅燕 李晓 鲁少华 胡晓君 
国家自然科学基金联合重点项目(U1809210);国家重点研发计划中欧国际合作项目(2016YFE0133200);浙江省重点研发计划国际科技合作“一带一路”专项(2018C04021)。
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备中的钽丝为加热源和钽源,在石墨基底上直接制备TaC纳米颗粒,并研究不同热丝功率对TaC颗粒尺寸及其致密度的影响。实验结果表明:当热丝功率为1 600 W时,TaC颗粒致密度低,颗粒尺寸较小,约为14 nm;随着功...
关键词：热丝化学气相沉积 石墨 TaC纳米颗粒 
甲烷浓度对碳化硅基底金刚石薄膜摩擦性能影响被引量：2
《人工晶体学报》2021年第11期2067-2074,共8页王贺 沈建辉 闫广宇 吴玉厚 张慧森 
国家自然科学基金(51942507);学科创新引智项目(D18017);沈阳市科技计划(18-400-6-05)。
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在碳化硅基底上制备金刚石薄膜,采用场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、原子力显微镜研究了在不同甲烷浓度条件下制备的金刚石薄膜表面形貌及物相组成,在干摩擦条件下通过往复式摩擦磨损实验测试并计算...
关键词：金刚石 甲烷浓度 摩擦磨损 热丝化学气相沉积 碳化硅基底 耐磨性 磨损率 摩擦系数 
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