金刚石膜

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基于金刚石膜热沉的高功率半导体激光器封装技术研究
《微型计算机》2025年第7期124-126,共3页张扬 高鑫 巨一洋咏 
江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目(202413982061Y)。
高功率半导体激光器因其独特的性能优势在工业加工、医疗和通信等领域得到越来越广泛的应用。然而,高功率激光器在工作过程中产生的大量热量成为制约其性能提升和可靠性的关键瓶颈。传统的热沉材料和封装结构已难以满足高功率器件的散...
关键词：高功率半导体激光器 热管理 金刚石薄膜 
高功率MPCVD谐振腔体的优化设计和数值模拟
《真空与低温》2025年第2期140-147,共8页高子博 戚俊成 马博翔 孙馨月 程秀云 张惠芳 
中北大学高端装备可靠性技术重点实验室研究基金(446-110103)。
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够非常高效地产出高质量的金刚石薄膜,由于波长和腔体结构的限制,传统2.45 GHz MPCVD装置所沉积出的薄膜面积直径通常维持在50~70 mm之间。以增大金刚石膜沉积面积为目标,通过对微波电场进行仿真...
关键词：微波等离子体 MPCVD 金刚石膜 数值模拟 
预制应力提高大尺寸金刚石抛光成功率
《表面技术》2025年第6期143-151,共9页安康 张永康 刘鹏 张亚琛 杨志亮 许光宇 李利军 冯旭瑞 吴海平 李鸿 张旭芳 刘峰斌 李成明 
国家自然科学基金(52102034,U23A2025);北京市教育委员会科学研究计划项目资助(KM202410009010);北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12);北方工业大学研究生教育教学改革研究项目(YJS2024JG16)。
目的 验证预制应力方法在抛光大尺寸金刚石膜中的有效性,通过预制应力方法提高大尺寸金刚石膜的抛光成功率。方法 首先,利用拉曼光谱(Raman Shift)、X射线衍射(XRD)对金刚石膜样品进行测试,利用拉曼测试数据在有限元分析中引入金刚石膜...
关键词：CVD金刚石膜 有限元分析 预制应力 大尺寸金刚石膜 金刚石抛光 机械抛光 
CVD金刚石膜研究进展
《真空科学与技术学报》2024年第10期841-852,共12页权乐 
江钻公司科研项目(JZ2022002-4)。
金刚石由于其优异的声、光、电、热和力学性能,是重要的功能材料之一。金刚石的制备方法主要有高温高压方法和低压化学气相沉积方法。化学气相沉积法因制备得到的样品质量高、面积大,设备简单、可规模化等特性,是合成金刚石膜的重要方...
关键词：金刚石膜 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 热丝化学气相沉积 燃烧火焰化学 气相沉积 
带有反向正脉冲的HiPIMS技术制备ta-C膜及性能研究
《表面技术》2024年第13期96-103,共8页何哲秋 冯利民 李建中 石俊杰 高宣雯 
国家重点研发计划(2019YFE0123900)。
目的提高切削刀具和耐磨零件的表面硬度和摩擦性能,延长工具的使用寿命。方法基于高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS),在每个脉冲周期尾部施加反向正脉冲,控制ta-C沉积过程,通过电镜测试、拉曼测试、XPS测试、纳米压痕硬度测试、摩擦磨损...
关键词：高功率脉冲磁控溅射技术 类金刚石膜 脉冲频率 结合力 硬度 耐磨性 
磁场辅助激光生长类金刚石膜的微结构及光学性能
《物理学报》2024年第10期337-344,共8页陆益敏 汪雨洁 徐曼曼 王海 奚琳 
国家自然科学基金(批准号:12205004);安徽省高等学校科学研究重点项目(批准号:2022AH050982);安徽工程大学引进人才科研启动基金(批准号:2022YQQ001)资助的课题。
在脉冲激光沉积技术中引入非均匀磁场,探索磁场约束激光等离子体条件下生长类金刚石膜的特性,为进一步提高类金刚石膜中sp~3键含量、增强微结构调控提供理论和实验基础.计算了磁场的磁感应强度及其磁力线分布,仿真了碳离子在磁场约束下...
关键词：类金刚石膜 脉冲激光沉积 磁约束等离子体 微结构 
离子氮化对高速钢表面类金刚石膜性能的影响
《材料与冶金学报》2024年第1期54-59,85,共7页张涛 冯利民 李建中 
国家重点研发计划项目(2019YFE0123900)。
根据空心阴极原理,研究了离子氮化对高速钢表面渗氮层的厚度、硬度等影响.在此基础上,研究了气体体积配比对渗氮后高速钢表面沉积的类金刚石膜的结合力、sp3键含量和耐磨性能的影响.研究结果表明:离子氮化后,高速钢表面镀膜结合力明显提...
关键词：高速钢 离子氮化 类金刚石膜 结合力 磨损性能 
MoS_(2)对树脂基器件耐磨层改性的研究
《材料保护》2024年第2期144-147,共4页王云飞 孟银娜 高志廷 
河南省科技计划资助项目(202102210072)。
为了延长树脂基器件耐磨层的寿命,研制了Ti-DLC-MoS_(2)复合膜层,以磁控溅射的方式对树脂基材料依次镀膜,并考察了不同镀膜工艺的效果。结果表明:与表面镀Ti-DLC混合膜层相比,Ti-DLC-MoS_(2)复合膜层的耐磨性提高了30%;与无膜层的树脂...
关键词：树脂 磁控溅射 类金刚石膜 二硫化钼膜 
2英寸MPCVD光学级均匀金刚石膜的制备研究被引量：2
《无机材料学报》2023年第12期1413-1419,共7页产思义 屠菊萍 黄珂 邵思武 杨志亮 刘鹏 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 安康 郑宇亭 李成明 
国家磁约束核聚变发展研究专项基金(2019YFE03100200)。
均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点,沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模...
关键词：光学级金刚石膜 温度均匀性 红外透过率 沉积台高度 COMSOL模拟 
含类金刚石薄膜的铝镁合金振膜的制备及其声学特性研究被引量：1
《稀有金属材料与工程》2023年第10期3470-3478,共9页孙庆磊 方非凡 王文清 郝亮 
中国博士后科学基金(2022M722936);中央高校青年优秀人才培育项目(20211234#);湖北省教育厅科学研究计划指导性项目(B2022261);硅酸盐建筑材料国家重点实验室开放基金(SYSJJ2022-14);湖北省博士后创新研究岗位;湖北省珠宝工程技术研究中心开放基金(CIGTXM-03-202202)。
通过脉冲等离子体增强化学气相沉积技术在铝镁合金振膜上沉积类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。利用SEM、AFM和RAMAN表征了不同沉积工艺下的DLC薄膜的形态和组成结构,测试了含DLC膜层的铝镁合金复合振膜的力学性能,相比铝镁合金...
关键词：类金刚石膜 铝镁合金 弹性模量 频响特性 谐波失真 
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