类金刚石膜

作品数:341被引量:898H指数:13
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带有反向正脉冲的HiPIMS技术制备ta-C膜及性能研究
《表面技术》2024年第13期96-103,共8页何哲秋 冯利民 李建中 石俊杰 高宣雯 
国家重点研发计划(2019YFE0123900)。
目的提高切削刀具和耐磨零件的表面硬度和摩擦性能,延长工具的使用寿命。方法基于高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS),在每个脉冲周期尾部施加反向正脉冲,控制ta-C沉积过程,通过电镜测试、拉曼测试、XPS测试、纳米压痕硬度测试、摩擦磨损...
关键词:高功率脉冲磁控溅射技术 类金刚石膜 脉冲频率 结合力 硬度 耐磨性 
磁场辅助激光生长类金刚石膜的微结构及光学性能
《物理学报》2024年第10期337-344,共8页陆益敏 汪雨洁 徐曼曼 王海 奚琳 
国家自然科学基金(批准号:12205004);安徽省高等学校科学研究重点项目(批准号:2022AH050982);安徽工程大学引进人才科研启动基金(批准号:2022YQQ001)资助的课题。
在脉冲激光沉积技术中引入非均匀磁场,探索磁场约束激光等离子体条件下生长类金刚石膜的特性,为进一步提高类金刚石膜中sp~3键含量、增强微结构调控提供理论和实验基础.计算了磁场的磁感应强度及其磁力线分布,仿真了碳离子在磁场约束下...
关键词:类金刚石膜 脉冲激光沉积 磁约束等离子体 微结构 
离子氮化对高速钢表面类金刚石膜性能的影响
《材料与冶金学报》2024年第1期54-59,85,共7页张涛 冯利民 李建中 
国家重点研发计划项目(2019YFE0123900)。
根据空心阴极原理,研究了离子氮化对高速钢表面渗氮层的厚度、硬度等影响.在此基础上,研究了气体体积配比对渗氮后高速钢表面沉积的类金刚石膜的结合力、sp3键含量和耐磨性能的影响.研究结果表明:离子氮化后,高速钢表面镀膜结合力明显提...
关键词:高速钢 离子氮化 类金刚石膜 结合力 磨损性能 
MoS_(2)对树脂基器件耐磨层改性的研究
《材料保护》2024年第2期144-147,共4页王云飞 孟银娜 高志廷 
河南省科技计划资助项目(202102210072)。
为了延长树脂基器件耐磨层的寿命,研制了Ti-DLC-MoS_(2)复合膜层,以磁控溅射的方式对树脂基材料依次镀膜,并考察了不同镀膜工艺的效果。结果表明:与表面镀Ti-DLC混合膜层相比,Ti-DLC-MoS_(2)复合膜层的耐磨性提高了30%;与无膜层的树脂...
关键词:树脂 磁控溅射 类金刚石膜 二硫化钼膜 
含类金刚石薄膜的铝镁合金振膜的制备及其声学特性研究被引量:1
《稀有金属材料与工程》2023年第10期3470-3478,共9页孙庆磊 方非凡 王文清 郝亮 
中国博士后科学基金(2022M722936);中央高校青年优秀人才培育项目(20211234#);湖北省教育厅科学研究计划指导性项目(B2022261);硅酸盐建筑材料国家重点实验室开放基金(SYSJJ2022-14);湖北省博士后创新研究岗位;湖北省珠宝工程技术研究中心开放基金(CIGTXM-03-202202)。
通过脉冲等离子体增强化学气相沉积技术在铝镁合金振膜上沉积类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。利用SEM、AFM和RAMAN表征了不同沉积工艺下的DLC薄膜的形态和组成结构,测试了含DLC膜层的铝镁合金复合振膜的力学性能,相比铝镁合金...
关键词:类金刚石膜 铝镁合金 弹性模量 频响特性 谐波失真 
厚类金刚石膜研究进展被引量:3
《热加工工艺》2023年第10期14-19,共6页武帅政 张树玲 黄腾龙 郭栋 马兴华 丁文捷 
国家自然科学基金项目(51861031)。
类金刚石膜是一种由sp3和sp2混合的亚稳态碳膜。因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损性能,在石油、航空航天、汽车零部件、医学和光学领域被广泛应用。但因类金刚石膜中存在大的内应力,类金刚石膜的厚度受到限制,而在摩...
关键词:类金刚石膜 摩擦系数 抗磨损 制备方法 内应力 
超音速火焰喷涂碳化钨与磁控溅射掺钨类金刚石膜复合涂层结构及性能被引量:3
《表面技术》2022年第6期399-406,415,共9页杨焜 宋进兵 林松盛 曾威 
广东特支计划(2019BT02C629);广州市产学研协同创新重大专项“燃气轮机关键零部件表面处理及维修”。
目的改善唇形油封与对磨旋转轴的密封效果,提高旋转轴的耐磨减摩性能,并延长唇形油封的使用寿命。方法采用超音速火焰喷涂方法在TC4钛合金试样上制备碳化钨涂层并进行磨削及抛光加工以获得光滑的表面,再利用离子源辅助磁控溅射方法制备...
关键词:碳化钨涂层 掺钨类金刚石膜 显微结构 摩擦磨损 密封 
类金刚石膜对铝合金疏水结构耐久性能影响被引量:2
《真空科学与技术学报》2022年第6期475-481,共7页于欣淼 陈东旭 霍婧雅 吴浩东 周艳文 
辽宁省教育厅高等学校基本科研项目(LJKZ0286);辽宁科技大学大学生创新创业训练计划项目(202110146019)。
为提高2024铝合金疏水及耐蚀性能,利用电化学刻蚀结合等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在其表面制备微纳米浮凸疏水结构及类金刚石(DLC)薄膜。利用接触角测量仪、电化学工作站及冲刷试验装置,对不同处理工艺下2024铝合金的疏水、...
关键词:2024铝合金 电化学刻蚀 类金刚石膜 疏水耐久性 耐蚀性能 
防真空冷焊镀覆层探讨
《机电元件》2022年第3期28-31,共4页范小平 张勇强 孙革伟 
本文论述了真空分离连接器的真空冷焊发生的场景和机理,总结了真空分离连接器防真空冷焊的措施,并根据基材和镀覆层设计了一款防真空冷焊的真空分离连接器,其中锁紧机构的防真空冷焊措施是采用DLC膜,铝合金头座壳体之间防真空冷焊措施...
关键词:分离电连接器 真空冷焊 类金刚石膜 PI-MoS_(2) 氟代聚醚脂 
类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展被引量:2
《宁夏工程技术》2022年第1期84-91,共8页郭栋 张树玲 甘志颖 郭峰 
国家自然科学基金项目(51861031)。
类金刚石膜是由sp2键合的石墨与sp3键合的金刚石组成的一类碳膜,具备石墨的润滑特性和金刚石的高硬度,在降低摩擦因数、耐磨等方面具有重要应用价值。但薄膜较大的残余应力以及膜基结合问题的存在,限制了其在机械、电子、医学等范围内...
关键词:掺杂元素 内应力 类金刚石膜 结合力 过渡层 多层膜设计 
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