磁控溅射

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CuO/C复合薄膜的制备及其作为钠离子电池负极的电化学性能
《微纳电子技术》2025年第4期125-132,共8页赵卓凡 闫共芹 蓝春波 王晨 戚艳超 付向辉 
广西自然科学基金(2020GXNSFAA159024);广西高校中青年教师科研基础能力提升项目(2022KY0350);广西汽车零部件与整车技术重点实验室自主课题(2023GKLACVTKF03)。
通过湿化学法和磁控溅射法制备了CuO/C薄膜材料,并将其作为钠离子电池负极。研究了碳复合对CuO薄膜电化学性能的影响,并通过第一性原理计算了钠离子吸附能。研究结果表明,与CuO薄膜相比,通过磁控溅射进行碳复合后形成的CuO/C复合材料具...
关键词：钠离子电池负极 CuO/C复合薄膜 磁控溅射 电化学性能 吸附能 
磁控溅射Cr薄膜对95%Al_(2)O_(3)陶瓷二次电子发射系数和沿面闪络特性的影响
《真空电子技术》2025年第2期41-46,共6页王箫婧 冯丹丹 韩雪莹 于志强 
采用磁控溅射技术在95%Al_(2)O_(3)陶瓷基体上生成不同厚度的Cr薄膜,通过改变热处理条件研究Cr层的氧化情况及其与基体在高温下的反应过程。采用X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)、扫描电子显微镜(Scanning Elect...
关键词：氧化铝陶瓷 磁控溅射 XPS SEE 真空沿面闪络 
氮氩流量比对AlCrTiVNbN薄膜结构和摩擦学性能的影响
《润滑与密封》2025年第4期31-39,共9页阎红娟 米智丰 郑彩丽 司丽娜 程方赢 
北京市自然科学基金项目(3212003);北方工业大学毓优团队计划项目(22XN746)。
通过磁控溅射方法在304不锈钢表面制备AlCrTiVNbN高熵合金氮化物薄膜,探究在不同氮氩流量比下薄膜的微观组织结构、力学性能和摩擦学性能。结果表明:随着氮氩流量比增加,AlCrTiVNbN薄膜呈现面心立方(FCC)结构,(111)晶面衍射峰消失,在(2...
关键词：AlCrTiVNbN薄膜 磁控溅射 摩擦学性能 氮氩流量比 薄膜结构 
氧化钨忆阻器的制备及其神经突触特性
《济南大学学报(自然科学版)》2025年第2期278-285,共8页邱志程 李阳 
国家自然科学基金项目(62005095)。
为了实现忆阻器在神经网络中的应用,采用磁控溅射技术制备模拟型氧化钨忆阻器;在氧化铟锡导电玻璃衬底上依次生长氧化钨薄膜和银薄膜,将氧化钨作为阻变层,氧化铟锡作为底电极,银作为顶电极;采用扫描电子显微镜和系统数字源表表征制备的...
关键词：忆阻器 人工突触 磁控溅射 神经网络 神经形态计算 
钯及其合金膜制备研究进展
《膜科学与技术》2025年第2期192-204,共13页王莹 田梦圆 张振展 刘明 李慧 
国家重点研究发展计划(2022YFB4002403);辽宁振兴人才计划(XLYC1907075)。
在氢气相关应用领域,高纯氢的需求日益增加,钯基膜以其优异的氢气渗透性和选择性,在氢气分离-纯化领域得到广泛应用。但在一定温度和压力下会发生氢脆,研究者通过在钯膜中加入其他金属元素来解决该问题,通过合金化后抑制氢脆并提高氢气...
关键词：钯膜 制备 氢气分离 磁控溅射 合金 
射频功率对ITO薄膜结构及性能影响的研究
《真空》2025年第2期62-67,共6页孙冰成 张贤旺 张健 
使用射频(RF)磁控溅射技术,在耐高温石英玻璃基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电氧化物薄膜,旨在优化其光电特性。通过系统调控溅射功率变量,深入剖析了该参数对ITO薄膜质量及光电性能的影响机理,之后又对薄膜进行退火处理,探究了退火...
关键词：射频磁控溅射 退火工艺 氧化铟锡 光电性能 溅射功率 
磁控溅射类金刚石薄膜耐磨润滑性的研究综述
《材料保护》2025年第4期30-39,共10页王建刚 范宇星 张欣 王玉江 罗伟 王磊 汪晶晶 
石家庄市重大科技专项(246081487A)。
类金刚石薄膜(Diamond-Like Carbon,DLC)因其优异的润滑耐磨性能在多个领域备受关注。本文系统综述了磁控溅射技术在DLC薄膜制备中的研究进展,重点探讨了工艺参数及元素掺杂对薄膜性能的调控机制。首先,分析了气体流量比、偏置电压和电...
关键词：耐磨润滑 类金刚石薄膜 磁控溅射 沉积条件 掺杂 
磁控溅射制备Mo薄膜及其在Sb_(2)Se_(3)薄膜太阳电池中的应用
《常熟理工学院学报》2025年第2期11-16,共6页彭明姗 马靓文 丛姗 易庆华 房勇 韩志达 钱斌 江学范 张磊 
本文采用磁控溅射技术制备钼(Mo)薄膜,通过X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针电阻率测试仪研究了沉积气压和衬底温度对薄膜结构、光学及电学性能的影响.结果表明,随着沉积气压的升高,Mo薄膜的结晶性降低,反射率...
关键词：磁控溅射 MO薄膜 Sb_(2)Se_(3) 太阳电池 
Ag/ZnTe复合薄膜在近红外区域的非线性特性
《材料科学》2025年第3期390-397,共8页李欣颖 王赫聪 于智聪 杨子昆 杜斯佳 孙文军 
黑龙江省自然科学基金(LH2020F032)。
通过精确调控磁控溅射工艺参数,成功制备了一系列具有不同功率的银纳米基膜。随后,以这些基膜为生长平台,促进了具有不同结构特征的碲化锌薄膜的形成。通过扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、X射线衍射及紫外–可见分光光度计等...
关键词：Ag/ZnTe复合薄膜 磁控溅射 非线性光学特性 
银纳米涂层织物抗氧化变色工艺研究
《针织工业》2025年第3期26-30,共5页董猛 吴若凯 李庆遥 江红 
安徽理工大学省级大学生创新训练计划项目(12845);安徽理工大学青年基金项目(13230508);安徽理工大学高层次引进人才科研启动基金(13220009)。
采用TiO_(2)纳米溶胶、水性聚氨酯、DSO氨基改性硅油为抗氧化整理剂,提高磁控溅射镀银织物抗氧化变色性能及其结合牢度。以Na_(2)S溶液和模拟人工汗液加快腐蚀的方法对镀银织物抗氧化变色性能进行评定,设计正交试验优化整理剂中各组分...
关键词：磁控溅射 银纳米层 抗氧化整理 结合牢度 
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