MO薄膜

作品数：50被引量：120H指数：7
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磁控溅射制备Mo薄膜及其在Sb_(2)Se_(3)薄膜太阳电池中的应用
《常熟理工学院学报》2025年第2期11-16,共6页彭明姗 马靓文 丛姗 易庆华 房勇 韩志达 钱斌 江学范 张磊 
本文采用磁控溅射技术制备钼(Mo)薄膜,通过X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针电阻率测试仪研究了沉积气压和衬底温度对薄膜结构、光学及电学性能的影响.结果表明,随着沉积气压的升高,Mo薄膜的结晶性降低,反射率...
关键词：磁控溅射 MO薄膜 Sb_(2)Se_(3) 太阳电池 
磁控溅射CuCrMo薄膜耐126kV 20kA电弧烧蚀性能
《中国表面工程》2022年第4期238-247,共10页苗晓军 范艳艳 钱旦 李雁淮 宋忠孝 庞亚娟 郝留成 
国家电网有限公司总部科技项目“126 kV真空灭弧室关键工艺技术研究及应用”资助项目(B491BG190013)
提升真空断路器CuCr触头的抗电弧烧蚀能力是决定其能否应用于高压真空灭弧室的核心关键,尚未见有效触头材料或表面涂层改性技术使CuCr触头应用于126kV以上真空灭弧室的报道。基于CuCrMo薄膜的优异电气性能,对沉积CuCrMo薄膜的真空灭弧...
关键词：磁控溅射 CuCrMo 电弧烧蚀 126KV真空断路器 电寿命 
基于正交试验的Mo薄膜工艺参数优化被引量：1
《北京工业大学学报》2022年第1期79-84,共6页王波 沈琦 张丽霞 王喆 祁超 马玉田 
国家自然科学基金资助项目(11775228,51571003)。
Mo薄膜是CIGS薄膜太阳电池背电极的首选材料,对薄膜与基底间的结合力提出很大要求.为提高Mo薄膜与基底结合力,借助L_(9)(3^(3))正交表研究基底温度、溅射气压和溅射功率3种影响因素对Mo薄膜结合力的影响,针对每种因素各选取3个水平值....
关键词：MO薄膜 磁控溅射 结合力 参数优化 正交试验 裂纹面积 
CIGS薄膜太阳能电池用背电极性能研究
《燕山大学学报》2021年第5期415-423,共9页姚婷婷 彭塞奥 王天齐 甘治平 李刚 
安徽省科技重大专项资助项目(201903a05020017);安徽省重点研究与开发计划(202004b11020020);江苏省能量转换材料与技术重点实验室开放课题资助项目。
CIGS薄膜太阳能电池的传统背电极中的导电层为了满足电阻要求,必须使用较厚的Mo薄膜作为电子传导层进行电流传输,同时作为电子触头与CIS半导体接触。但较厚的Mo薄膜导致背电极内部应力较大、薄膜制备速度慢且成本高,因此,需开发厚度小...
关键词：MO薄膜 CuZn薄膜 背电极 方块电阻 导电层 
新型CIGS阻挡层多横向界面Mo的特性及对器件性能的影响被引量：2
《光电子．激光》2018年第2期129-132,共4页李博研 刘芳芳 孙云 林列 
国家自然科学基金(61504067)资助项目
采用磁控溅射方法,在不锈钢箔上制备多横向界面Mo(M-Mo,multi-transverse interface Mo)和单横向界面Mo(S-Mo)薄膜,并利用共蒸发三步法分别在M-Mo和S-Mo薄膜上制备Cu(In,Ga)Se_2(CIGS)薄膜及器件。通过二次离子质谱仪(SIMS)、X射线衍射...
关键词：Cu(In Ga)Sez(cIGs) 多横向界面Mo薄膜(M-Mo) 单横向界面Mo薄膜(S-Mo) Fe 扩散 
Mo薄膜性质及对CIGS形貌和结构的影响
《真空科学与技术学报》2017年第3期266-271,共6页李新连 于涛 张传升 宋斌斌 赵树利 郭凯 左宁 陈颉 
分别用磁控溅射法和共蒸法沉积了Mo和CIGS薄膜。考察了气压和CIGS高温沉积环境对Mo薄膜的影响,研究了Mo基底对CIGS结构和形貌的影响,给出了不同Mo基底上制备的电池效率。结果显示,Mo薄膜具有较强的(110)晶面择优取向,低气压沉积的薄膜...
关键词：MO薄膜 磁控溅射 铜铟镓硒 太阳能电池 
罗技中端防水G213ProdigyRGB键盘亮相
《电脑爱好者》2016年第19期102-102,共1页
为了防止玩家把饮料等液体洒在键盘上导致损坏，现在防水也成为许多品牌键盘的卖点之一。这不，罗技刚刚亮相的G213ProdigyRGB就是个性鲜明的一款。但需要注意的是，它虽然有着类似机械键盘的手感，但实际上使用的Mech—Demo薄膜轴，有...
关键词：机械键盘 防水 罗技 MO薄膜 手感 设计 
靶材热处理温度对磁控溅射Mo薄膜组织和性能的影响被引量：3
《中国钼业》2014年第6期36-40,共5页张国君 马杰 安耿 孙院军 
国家"十二五"科技支撑计划项目:钨;钼的增值化利用产业化技术开发(2012BAE06B02)
采用磁控溅射设备和经过不同温度热处理的Mo靶材,以相同的溅射工艺参数,在Si基片上制备了Mo金属薄膜,研究了靶材的热处理温度对Mo薄膜组织和性能的影响。研究结果发现,所制备Mo薄膜均呈现(110)晶面择优取向,而靶材热处理温度的升高能够...
关键词：钼靶材 MO薄膜 择优取向 电性能 
溅射压强对薄膜太阳电池背电极电学性能的影响被引量：1
《黑龙江科技信息》2014年第35期100-101,共2页苗凤 李春然 
渤海大学本科生开放实验项目(No:004051)
采用直流磁控溅射工艺,在不同溅射压强条件下制备了薄膜太阳电池用金属Mo背电极。用场发射场发射扫描电子显微镜(FESEM)和四探针测试仪研究了溅射压强对薄膜的成膜速率和电学性能的影响。结果表明,较高溅射压强条件下,制得的薄膜电阻率...
关键词：直流磁控溅射 MO薄膜 溅射压强 电学性能 
磁控溅射制备Mo薄膜的优化工艺和组织及性能研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2014年第9期2221-2226,共6页马国政 徐滨士 王海斗 邢志国 张森 
国家杰出青年科学基金(51125023);国家"973"计划(2011CB013403);北京市自然科学基金重大项目(3120001)
基于正交试验设计,采用射频磁控溅射技术在不同工艺条件下制备了一系列纯金属Mo薄膜。以薄膜的纳米硬度和结合强度为评价指标,考察分析了溅射靶功率、基片温度、氩气流量和真空度4个工艺参数对溅射Mo薄膜综合力学性能和组织结构的影响...
关键词：磁控溅射 MO薄膜 正交试验 工艺参数 
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