王波

作品数：97被引量：338H指数：8
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供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：场发射磁控溅射立方氮化硼立方氮化硼薄膜射频溅射更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《中国材料进展》《功能材料》《应用化学》更多>>
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基于正交试验的Mo薄膜工艺参数优化被引量：1
《北京工业大学学报》2022年第1期79-84,共6页王波 沈琦 张丽霞 王喆 祁超 马玉田 
国家自然科学基金资助项目(11775228,51571003)。
Mo薄膜是CIGS薄膜太阳电池背电极的首选材料,对薄膜与基底间的结合力提出很大要求.为提高Mo薄膜与基底结合力,借助L_(9)(3^(3))正交表研究基底温度、溅射气压和溅射功率3种影响因素对Mo薄膜结合力的影响,针对每种因素各选取3个水平值....
关键词：MO薄膜 磁控溅射 结合力 参数优化 正交试验 裂纹面积 
金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线及其工艺参数优化被引量：1
《北京工业大学学报》2021年第2期179-185,共7页王波 高灿灿 薛睿 
国家自然科学基金资助项目(51571003)。
为了制备形貌良好性能优良的硅纳米线,利用金属辅助化学刻蚀法,在AgNO3和HF的混合水溶液中沉积Ag颗粒,使之作为刻蚀反应的催化剂,并在H2O2和HF的混合溶液中进行刻蚀反应制备硅纳米线.通过改变实验中的工艺参数,包括刻蚀反应时间、刻蚀...
关键词：硅纳米线 金属辅助化学刻蚀法 刻蚀反应时间 刻蚀反应温度 HF浓度 搅拌速度 形貌结构 
ECR直线等离子体装置的辐照实验性能优化被引量：2
《真空科学与技术学报》2020年第11期1058-1063,共6页杨志浩 祁超 张丽霞 王波 马玉田 
国家自然科学基金项目(批准号:11775228,51571003)。
用于研究聚变反应堆中等离子体-材料相互作用的实验模拟装置已经基本完成开发与优化。该装置可以产生通用的低能-高密度等离子体,模拟聚变环境相关的等离子体参数来研究材料的可靠性,具有稳定可靠、运行参数范围广等优点。该装置主要包...
关键词：等离子体 电子回旋共振 磁场 辐照试验 
石英板夹层中窄电极结构与材料对直流放电的影响
《真空》2020年第5期61-65,共5页张天一 杨志浩 刘云辉 马玉田 王波 
国家自然科学基金资助的课题(批准号:51571003,11775228)。
研究了一种石英板夹层窄电极放电装置的低气压直流放电过程,重点探讨了电极结构与电极材料对等离子体参数的影响,其中电极要求宽高为4mm,间距大于40mm。实验采用朗缪尔双探针法诊断,通过改变气压、放电功率等条件分析了电极结构对自制...
关键词：等离子体 直流放电 放电电极 均匀度 电子密度 
四方结构GaN纳米线制备、掺杂调控及其场发射性能研究被引量：3
《物理学报》2020年第16期262-270,共9页杨孟骐 姬宇航 梁琦 王长昊 张跃飞 张铭 王波 王如志 
国家自然科学基金(批准号:11774017,51761135129)资助的课题.
作为最重要的第三代半导体材料之一,纳米氮化镓(Ga N)也引起了人们的广泛关注与重视.本文采用微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition, MPCVD)系统,成功地制备出了四方截面的Ga N纳米线,其纳米线半径为30...
关键词：氮化镓(GaN) 四方结构纳米线 Mg 掺杂 场发射 
聚焦光系统的X衍射仪对薄膜样品的掠入射衍射研究被引量：1
《实验技术与管理》2020年第1期109-112,共4页汤云晖 王波 
国家自然科学基金项目(51571003)支持.
采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量。实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、...
关键词：薄膜 X衍射仪 掠入射 聚焦光系统 
氦离子显微镜对钨中氦行为的实验研究被引量：2
《物理学报》2019年第4期208-215,共8页马玉田 刘俊标 韩立 田利丰 王学聪 孟祥敏 肖善曲 王波 
国家自然科学基金(批准号:11775228;51571003)资助的课题~~
针对热核聚变面向等离子体钨材料中氦泡形成、演变以及机理研究的需求,克服目前常用离子注入、电子扫描显微镜和透射电子显微镜等离线研究手段存在的不足,提出氦离子显微镜对钨中氦的上述行为原位实时在线研究方法.借助氦离子显微镜的...
关键词：钨 氦行为 氦离子显微镜 实时原位分析 
叠片结构对铜抗热疲劳性能的影响研究
《真空科学与技术学报》2018年第5期434-441,共8页李曙丹 王波 刘云辉 齐艳飞 李萌 马玉田 
国家自然科学基金项目(No.51571003);ITER专项项目(No.2013GB109003)
研究了一种多层铜箔构成的叠片式表面结构,与铜块体同时在10-5Pa真空下进行电子束热疲劳,电子束的功率密度28 MW/m^2,循环3000次。采用扫描电子显微镜(SEM)对热疲劳后的铜箔与铜块体的表面损伤进行了分析,结果表明,由于铜箔处于单轴应...
关键词：叠片结构 热疲劳 表面裂纹 定量分析 
细长石英管内直流放电等离子体研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2018年第4期259-263,共5页王权 王波 刘云辉 张天一 
ITER专项项目课题(批准号:2013GB109003);国家自然科学基金项目(批准号:51571003)
利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100 Pa时,...
关键词：等离子体 直流放电 朗缪尔探针 电子密度 击穿电压 
射频感应耦合等离子体模式转变的发射光谱被引量：2
《北京工业大学学报》2018年第3期351-356,共6页王波 王权 王荷军 张天一 
国家自然科学基金资助项目(51571003);ITER专项(2013GB109003)
通过改变气体流率、放电气压和气体组成,研究射频感应耦合放电等离子体(inductively coupled plasma,ICP)在圆柱型放电装置中E模到H模的转化规律.采用发射光谱诊断法,对419.8 nm氩原子谱线和434.8 nm氩离子谱线进行采集和分析,以表征E模...
关键词：ICP放电 光谱诊断 E-H模 E-H转换功率 等离子体源 
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