等离子体源

作品数：252被引量：450H指数：10
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活性屏等离子体源渗氮距离对2Cr13钢渗层组织与性能的影响
《金属热处理》2025年第4期270-276,共7页李广宇 黄俊杰 栾媛 张翠 雷腾 许伊婷 
辽宁省教育厅基本科研项目(JYTZD2023003);营口市企业·博士双创计划(QB-2023-03)。
对2Cr13不锈钢进行活性屏等离子体源渗氮处理,研究了2Cr13不锈钢试样与金属屏距离对渗层相结构和性能的影响,并与传统直流离子渗氮技术进行对比。结果表明,两种渗氮工艺处理后,2Cr13不锈钢表面均形成了均匀、致密的渗层,活性屏等离子体...
关键词：活性屏等离子体源渗氮 2Cr13不锈钢 相结构 耐磨性能 抗蚀性能 
NEPTUNE型质谱仪等离子体源的维护与故障分析
《华北地质》2024年第4期98-105,共8页李国占 涂家润 崔玉荣 毕君辉 郝爽 刘文刚 周红英 
国家自然科学基金项目“高铀矿物飞秒激光剥蚀-同位素稀释热电离质谱U-Pb定年研究(42103025)”;“高钍低铀矿物高精确度同位素稀释——热电离质谱钍—铅年代学研究(42073055)”;“铌铁矿微区原位U-Pb同位素定年标准物质的研制(41873066)”;中国地质调查局地质调查项目(DD20190439)。
【研究目的】多接收电感耦合等离子体质谱仪(MC-ICP-MS)的离子源属常压、高温电离源,由多个精密、复杂元器件组成,是MC-ICP-MS的重要部件,加强其日常维护与故障分析是十分必要的。【研究方法】本文以赛默飞世尔科技有限公司的NEPTUNE型M...
关键词：等离子体 部件维护 故障现象 解决方法 
面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究
《物理学报》2024年第21期167-176,共10页赵明亮 邢思雨 唐雯 张钰如 高飞 王友年 
国家自然科学基金(批准号:11935005)资助的课题。
针对平面线圈感性耦合氩气放电,本文基于自主开发的三维等离子体流体力学程序,数值模拟了线圈结构以及放电气压对等离子体空间分布的影响.研究表明,由于线圈在环向上具有不对称性,电子密度也具有明显的环向不均匀性.随着气压的增大,这...
关键词：感性耦合等离子体 三维流体模拟 等离子体均匀性 线圈形状 
2.45GHz ECR强流等离子体源核心部件设计与实验研究被引量：1
《原子与分子物理学报》2024年第5期94-100,共7页李钢 陈根 段文学 彭标 尉传颂 
国家重点研发计划(E05KCI25591)。
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子,提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的,磁场对等离子体的生成和分布有直接影响,良好的磁场...
关键词：ECR等离子体源 磁场设计 引出束流 
一种基于矩形同轴结构的微波大气压等离子体射流装置
《真空电子技术》2024年第5期107-111,共5页陈颜 曲澳 吴丽 
四川大学“从0到1”创新研究项目(2023SCUH0003);四川省自然科学基金(23NSFSC1176)。
微波大气压等离子体射流具有密度大、电离度高及粒子活性强等优点,在材料处理和医疗等领域受到了广泛关注,但现有微波大气压等离子体射流源还存在射流及单次处理面积小、均匀性有限等问题。基于矩形同轴结构设计了一款工作在2.45 GHz的...
关键词：微波等离子体射流 矩形同轴结构 等离子体源均匀性 
等离子体医学研究进展被引量：2
《高电压技术》2024年第8期3555-3579,共25页卢新培 罗婧怡 聂兰兰 刘大伟 张冠军 刘定新 邵涛 方志 金珊珊 赵亚军 张远涛 邹亮 王晓龙 李和平 张宇 刘东平 杨德正 陈支通 黄青 程诚 吴淑群 刘巧珏 裴学凯 闫旭 程鹤 熊青 石琦 宋珂 曹颖光 陈宏翔 冯爱平 夏育民 白帆 杨春俊 杨润功 何光源 
国家自然科学基金(52130701,52277150);国家重点研发计划(2021YFE0114700)。
大气压非平衡等离子体(atmospheric pressure nonequilibrium plasma,APNP)能够在产生多种活性成分的同时保持较低甚至常温的气体温度,这使得它在生物医学方面有着巨大的应用前景,因此等离子体医学成为一个备受关注的新兴研究领域。自1...
关键词：等离子体医学 大气压非平衡等离子体 低温等离子体 等离子体源 等离子体诊断 生物医学应用 
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
《中国表面工程》2024年第4期273-279,共7页殷冀平 吕少波 蔺增 巴德纯 
国家自然科学基金(51775096);中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2007]006);中央高校基本科研业务费项目(N2003009)。
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊...
关键词：电子回旋波共振等离子体 中频磁控溅射 等离子体诊断 感应耦合等离子体 氧化铌薄膜 
电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体
《物理学报》2024年第14期61-67,共7页颜劭祺 高继昆 陈越 马尧 朱晓东 
国家重点研发计划(批准号:2018YFE0301102)资助的课题.
低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生...
关键词：电子束 等离子体产生 等离子体源 电子密度 
分段式的大功率远程等离子体源系统设计
《自动化与仪表》2024年第5期30-33,72,共5页薛家祥 马财钰 王一统 金礼 
国家自然科学基金资助项目(51875213);广东省自然科学基金项目(2214050007061);贵州省省级科技计划项目(ZK[2022]198);贵州省高等学校教学内容和课程体系改革项目(2021083)。
目前远程等离子体源系统普遍存在输出功率低、系统负载适应范围窄和生成等离子体浓度不稳定等问题,该文基于对TCP型腔体的放电模式和负载特性分析,提出一种分段式的大功率远程等离子体源系统,改进的功率电路提高了电源输出功率,分离的...
关键词：远程等离子体源 电感耦合 TCP 控制策略 
一种等离子体溯源测量装置设计及性能测试被引量：1
《航天器环境工程》2024年第2期181-189,共9页李耀 贾军伟 王青青 武宇婧 常猛 董学江 郝剑昆 郎昊 李绍飞 张韧 
国家自然科学基金项目(编号:U22B2094)。
文章设计了一套等离子体溯源测量装置为验证感应耦合等离子体(ICP)源作为校准源的性能,找出满足朗缪尔探针溯源校准的最佳等离子体测试条件,提升测试准确性,采用控制变量法对不同工况下ICP源等离子体电子密度和电子温度的稳定性和均匀性...
关键词：等离子体源 朗缪尔探针 控制变量法 结构设计 电子密度 电子温度 
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