感应耦合等离子体

作品数：146被引量：373H指数：8
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感应耦合等离子体离子源放电特性仿真研究
《真空科学与技术学报》2024年第9期819-824,共6页李日正 倪国华 孙红梅 王城 
国家自然科学基金项目(12275317,12105325);青岛市科技示范项目(23-7-8-smjj-2-nsh)。
针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其...
关键词：离子源 数值模拟 感应耦合等离子体 等离子体发生器 
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
《中国表面工程》2024年第4期273-279,共7页殷冀平 吕少波 蔺增 巴德纯 
国家自然科学基金(51775096);中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2007]006);中央高校基本科研业务费项目(N2003009)。
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊...
关键词：电子回旋波共振等离子体 中频磁控溅射 等离子体诊断 感应耦合等离子体 氧化铌薄膜 
感应耦合等离子体增强磁控溅射法制备MoO_(3)高透亲水光学薄膜
《功能材料》2023年第11期11118-11125,共8页彭井泉 郑学军 冯春阳 李方 黄乐 陈立 左滨槐 陈丽娟 贺楚才 
国家自然科学基金(11832016);国家重点研发计划(2021YFB4000802);湖南创新型省份建设专项(2020GK2014);合肥通用机械研究院有限公司项目(2021ZKKF 043);湖南省研究生科研创新项目(CX20210644)。
将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌...
关键词：正交实验 感应耦合等离子体增强磁控溅射法 MoO_(3)薄膜 透过率 接触角 
C_(4)F_(6)/SF_(6)混合气体对硅基材料的ICP刻蚀工艺研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2023年第1期36-41,共6页陈长鸿 王妹芳 孙一军 孙颖 孙家宝 刘艳华 刘志 谢石建 
为避免深硅刻蚀工艺所引起的扇贝纹效应,同时减少其工艺气体所带来的温室效应,本文将新一代环保电子刻蚀气C4F6引入硅刻蚀工艺,采用刻蚀与钝化同步进行的伪Bosch工艺刻蚀硅槽孔。研究了ICP功率、RIE功率、腔体压强和C_(4)F_(6)/SF_(6)...
关键词：感应耦合等离子体刻蚀 刻蚀速率 深硅刻蚀 选择比 
职业环境中铂类抗癌药物测定的感应耦合等离子体质谱法
《中华劳动卫生职业病杂志》2022年第12期950-951,共2页林怡然 梅小红 黄小红 李添娣 林怡 张文 
目的建立环境中铂类抗癌药物的感应耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定方法。方法环境物表中的铂类抗癌药物经擦拭采集纯水洗脱,离心取上清进电感耦合等离子体质谱进行检测。结果本方法测定浓度范围在0~8.0μg/L内线性范围良好,相关系数为1...
关键词：质谱法 感应耦合等离子体 环境 物体表面 铂类抗癌药物 
感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究
《电工技术学报》2022年第11期2725-2732,共8页詹志华 王春华 周秋娇 刘成周 赵鹏 
国家自然科学基金面上项目(11775271)和国家自然科学基金项目(Y95FZ40191)资助。
感应耦合等离子体(ICP)由于无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净,在制备高纯度陶瓷材料涂层上具有明显的技术优势。该文利用自主研制的感应耦合等离子体喷涂设备,开展碳化硼涂层制备的实验研究。并利用发射光谱仪和高速相机,对放电气体中...
关键词：感应耦合等离子体 氢气 放电气体 碳化硼涂层 
电感耦合等离子体放电特性的三维仿真研究
《航空兵器》2022年第3期82-87,共6页郭旭 李颖晖 邱辰霖 常怡鹏 王瑶东 
国家自然科学基金项目(11805277)。
针对电感耦合等离子体(ICP)的放电问题,设计了一种闭式透波腔体构型,建立了ICP的流体力学模型,并利用多物理场仿真平台COMSOL进行三维仿真研究。分析了放电过程中电子密度、电子温度和等离子体电势等典型参数随时间的变化规律,在此基础...
关键词：感应耦合等离子体 流体力学 放电特性 有限元方法 雷达回波 隐身 飞行器 
射频等离子体离子能量分布特性研究
《核聚变与等离子体物理》2021年第4期598-602,共5页邢海龙 金伟 梁传辉 代波 任勇 毛新春 王东平 王小英 陈长安 
国家自然科学基金(11775194);国家磁约束核聚变能发展研究专项(2015GB109001)。
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低...
关键词：感应耦合等离子体 离子能量分布 进气速率 
感应耦合等离子体中和枪的电子引出特性研究
《核聚变与等离子体物理》2021年第2期187-192,共6页罗先文 
国家自然科学基金(11405166);广西科技基地与人才专项(桂科AD20238068)。
给出了一种感应耦合等离子体源的设计,用于等离子体中和枪装置。通过实验方法研究等离子体源的电子引出特性,并结合理论分析了等离子体密度随射频功率的变化关系。研究结果表明等离子体源的电子引出特性与放电腔内气压有关联性,E?H模式...
关键词：等离子体中和枪 感应耦合等离子体 电子引出特性 
改进滑模极值搜索控制在阻抗匹配的应用被引量：1
《空军工程大学学报（自然科学版）》2021年第2期1-7,共7页李颖晖 武颂尧 林茂 邱枭楠 李勐 
国家自然科学基金(12075319)。
针对等离子体隐身中机载小型化射频电源在阻抗匹配网络的匹配速度慢和匹配精度低的问题,提出了一种新的阻抗匹配优化算法。通过分析射频电路阻抗匹配过程提出优化目标函数,根据电路输出有功功率与匹配电容的特性曲线自寻优系统峰值,利...
关键词：射频电路 感应耦合等离子体 滑模极值搜索 阻抗匹配 终端滑模 
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