云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 溅射压强

溅射压强: 作品数：29被引量：69H指数：5; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：刘汉法张化福郭美霞周爱萍袁玉珍更多>>; 相关机构：山东理工大学吉林大学云南师范大学上海大学更多>>; 相关期刊：《电子元件与材料》《哈尔滨师范大学自然科学学报》《山东建筑大学学报》《光电子技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金上海市教育委员会创新基金国家教育部博士点基金更多>>

射频磁控溅射制备SnS薄膜及其特性研究: 《延边大学学报(自然科学版)》2024年第4期20-25,共6页杨壮戚庆碧顾广瑞; 国家自然科学基金(51272224);吉林省自然科学基金(20210101163JC)。; 以玻璃和硅(Si)为衬底,采用射频磁控溅射法在不同溅射压强下制备了SnS薄膜.利用X射线衍射仪对SnS薄膜进行表征分析显示,所有样品均沿(111)面择优生长,溅射压强为0.8 Pa时薄膜结晶性最好;使用场发射扫描电子显微镜对SnS薄膜进行测试,结...; 关键词：射频磁控溅射法溅射压强 SnS薄膜薄膜结构光学性能

溅射压强对MoZnO光电晶体管性能的影响被引量：1: 《吉林建筑大学学报》2023年第6期73-79,共7页王晗高晓红张悦孙玉轩王森; 吉林省科技厅科技发展计划项目(20190303114SF)。; 采用射频磁控溅射法在表面长有SiO2绝缘层的P-Si片上沉积MoZnO薄膜,并制作成光电晶体管,研究了不同溅射压强对MoZnO薄膜及器件性能的影响.实验结果表明,当溅射压强为10 mTorr时,MoZnO薄膜的晶粒尺寸最大,结晶程度最好,其在可见光区域的...; 关键词：MoZnO 光电晶体管磁控溅射溅射压强

磁控溅射CdSe薄膜的光学和电学性质被引量：1: 《延边大学学报（自然科学版）》2023年第3期212-217,共6页崔熙林金健顾广瑞; 国家自然科学基金(51272224);吉林省自然科学基金(20210101163JC)。; 利用射频磁控溅射方法在玻璃和Si(111)衬底上沉积了CdSe薄膜,并研究了不同溅射压强对薄膜的结构、光学和电学性能的影响.X射线衍射分析表明,所有样品均沿(111)面择优生长,晶粒尺寸随溅射压强的增大而减小.透射光谱分析表明,CdSe薄膜在...; 关键词：CDSE薄膜磁控溅射溅射压强光学性质电学性质

溅射压强对WSe_(2)纳米薄膜形貌及光电性能的影响: 《哈尔滨师范大学自然科学学报》2022年第1期48-53,共6页刘晓彤王梦琪姚成宝物利娟; 采用射频(RF)磁控溅射技术在Si(100)衬底上制备WSe_(2)纳米薄膜,研究在不同制备压强(2.0、2.5、3.0 Pa)下WSe_(2)纳米薄膜的形貌及光电性质变化.采用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、光致发光谱(PL)、霍尔效应等...; 关键词：射频磁控溅射二硒化钨(WSe_(2))薄膜二维材料光电性能

溅射压强对光伏玻璃表面二氧化钛自清洁薄膜润湿性的影响: 《甘肃科技》2020年第4期46-48,45,共4页许世鹏李玉宏王华林莉陈维铅薛仰全; 甘肃省科技创新服务平台专项(1505JTCF039);甘肃省高等学校创新能力提升项目(2019A-248)。; 主要研究了溅射压强对光伏玻璃表面二氧化钛自清洁薄膜润湿性的影响。采用射频磁控溅射法制备了具有自清洁功能的二氧化钛薄膜,通过调控溅射压强改变薄膜润湿性。研究发现:薄膜中Ti元素主要以Ti+4形式存在。当溅射压强由0.4 Pa增加到0.6...; 关键词：磁控溅射溅射压强二氧化钛薄膜润湿性光伏玻璃

溅射压强对射频磁控溅射制备ZnO薄膜的影响: 《读天下（综合）》2019年第25期0272-0272,共1页王开平; 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜,我们利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同溅射压强下制备薄膜的相结构和表面形貌进行分析,结果表明:在溅射压强1Pa及1Pa以下时制备的ZnO薄膜表面光滑,结构致密,晶粒尺寸均匀,且沿c轴...; 关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射溅射压强

溅射压强对a-IGZO薄膜的表面粗糙度、氧空位及电学特性的影响（英文）被引量：3: 《稀有金属材料与工程》2016年第8期1992-1996,共5页李玲薛涛宋忠孝刘纯亮马飞; National Natural Science Foundation of China(61372018); 详细地研究了溅射压强对a-IGZO薄膜的微结构和电学特性产生的影响。AFM分析表明,薄膜的表面粗糙度随溅射压强的增加而增大。XPS分析表明薄膜中氧空位含量随溅射压强的增加而减少。增加表面粗糙度和减少氧空位对a-IGZO薄膜晶体管的特性...; 关键词：a-IGZO 薄膜晶体管溅射压强氧空位

溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响被引量：3: 《人工晶体学报》2016年第4期1126-1130,共5页郭胜利胡跃辉胡克艳陈义川范建彬徐承章童帆; 国家自然科学基金(61066003;61464005);江西省发明专利产业化技术示范项目(20143BBM26051);江西省对外合作项目(20132BDH80025);江西省自然科学基金(20132BAB202001);江西省主要学科学术和技术带头人培养计划项目(20123BCB22002);江西省高等学校科技落地计划(KJLD12085);江西省教育厅科技资助项目(GJJ12494;GJJ13643;GJJ13625);江西省研究生创新基金项目(YC2014-S315); 在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO)。对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能。随着溅射压强的增加,薄膜的结晶...; 关键词：溅射压强 ZNO薄膜 W掺杂光致发光

溅射压强对掺钛氧化锌纳米薄膜微结构和光电性能的影响被引量：4: 《人工晶体学报》2015年第12期3565-3570,共6页陈真英黄文华李丽夏黄宇阳邓文; 国家自然科学基金(11265002);广西自然科学重点基金(2010GXNSFD013036);广西大学行健文理学院科研基金(2014ZKLX01); 采用射频磁控溅射法,采用不同的溅射压强将同一掺钛氧化锌靶材在普通玻璃衬底上溅射出八个TZO(掺钛氧化锌)薄膜样品,测试其微结构和光电性能,分析其薄膜性能与溅射压强之间的微观机理,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需的最佳溅射压强...; 关键词：掺钛氧化锌薄膜磁控溅射溅射压强光电性能

InN纳米薄膜制备及其结构与带隙分析被引量：3: 《哈尔滨师范大学自然科学学报》2015年第3期83-86,共4页王金颖王炫力袁浩然姚成宝孙文军; 黑龙江省自然基金(F201202);黑龙江省教育厅骨干教师项目(125G031);黑龙江省研究生创新科研资金项目(No.YJSCX2011-414HLJ);The Natural Science Foundation of Heilongjiang Province under Grant(A201304); 以金属铟为靶材,蓝宝石为衬底,氩和氮的混合气体为溅射气体,衬底温度为100℃,溅射功率为100 W,采用射频磁控溅射技术分别制备了溅射压强为0.8、1.0、1.4 Pa的In N薄膜.利用XRD、SEM分析薄膜样品呈六方纤锌矿结构.使用双光束紫外/可见分...; 关键词：磁控溅射溅射压强 INN 光学带隙

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