溅射压强对光伏玻璃表面二氧化钛自清洁薄膜润湿性的影响  

作　　者：许世鹏 李玉宏[1,2] 王华 林莉[1,2] 陈维铅[1,2] 薛仰全 

机构地区：[1]酒泉新能源研究院,甘肃酒泉735000 [2]酒泉职业技术学院,甘肃酒泉735000

出　　处：《甘肃科技》2020年第4期46-48,45,共4页Gansu Science and Technology

基　　金：甘肃省科技创新服务平台专项(1505JTCF039);甘肃省高等学校创新能力提升项目(2019A-248)。

摘　　要：主要研究了溅射压强对光伏玻璃表面二氧化钛自清洁薄膜润湿性的影响。采用射频磁控溅射法制备了具有自清洁功能的二氧化钛薄膜,通过调控溅射压强改变薄膜润湿性。研究发现:薄膜中Ti元素主要以Ti+4形式存在。当溅射压强由0.4 Pa增加到0.6 Pa时,二氧化钛薄膜表面粗糙度由1.02 nm降低到0.65 nm,薄膜的水接触角由68.9°小幅下降到67.9°,随着溅射压强增加到1.4 Pa,薄膜表面粗糙度又升高到2.38 nm,薄膜的水接触角持续增加到87.5°,二氧化钛薄膜表现出亲水性;薄膜表面粗糙度变化与水接触角变化表现出相同的变化趋势,粗糙度变化有利于调节二氧化钛薄膜表面润湿性。当溅射压强为0.6 Pa时,二氧化钛薄膜滚动角最小,达到5°,此时薄膜的水接触角为最小角67.9°,表面自由能最大,为34.3 mJ/m^2,有利于减小固液间相对运动的阻力。

关 键 词：磁控溅射 溅射压强 二氧化钛薄膜 润湿性 光伏玻璃 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]