宋忠孝

作品数：48被引量：137H指数：7
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：扩散阻挡层磁控溅射热稳定性磁控溅射技术金属薄膜更多>>
发文领域：金属学及工艺电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《中国有色金属学报》《中国表面工程》《绝缘材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划高等学校骨干教师资助计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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磁控溅射CuCrMo薄膜耐126kV 20kA电弧烧蚀性能
《中国表面工程》2022年第4期238-247,共10页苗晓军 范艳艳 钱旦 李雁淮 宋忠孝 庞亚娟 郝留成 
国家电网有限公司总部科技项目“126 kV真空灭弧室关键工艺技术研究及应用”资助项目(B491BG190013)
提升真空断路器CuCr触头的抗电弧烧蚀能力是决定其能否应用于高压真空灭弧室的核心关键,尚未见有效触头材料或表面涂层改性技术使CuCr触头应用于126kV以上真空灭弧室的报道。基于CuCrMo薄膜的优异电气性能,对沉积CuCrMo薄膜的真空灭弧...
关键词：磁控溅射 CuCrMo 电弧烧蚀 126KV真空断路器 电寿命 
基底偏压对Zr-B-O-N薄膜结构及性能的影响
《中国材料进展》2022年第7期584-588,共5页孟瑜 宋忠孝 王小艳 钱旦 刘明霞 李晓华 
陕西省自然科学基金项目(2020JQ-889,2018JQ5173,2021JM-512);陕西省教育厅科技项目(19JS056,19JK0739);西安市科技计划项目(2019KJWL24)。
二硼化锆(ZrB_(2))薄膜因具有高熔点、低电阻率等特点,在硅基器件Cu互连工艺中具有广阔的应用前景。然而,沉积态ZrB_(2)薄膜多呈现结晶态,其晶界会为Cu原子提供快速扩散通道,通过非金属元素(N或O)掺杂可以得到非晶结构的ZrB_(2)薄膜,以...
关键词：Zr-B-O-N薄膜 磁控溅射 基底偏压 微观结构 扩散阻挡性能 
直流磁控溅射制备Zr-B-O薄膜及其热稳定性
《材料热处理学报》2021年第11期124-130,共7页孟瑜 宋忠孝 畅庚榕 刘明霞 成桢 徐可为 
陕西省自然科学基金(2020JQ-889,2018JQ5173,2021JM-512);陕西省教育厅科技项目(19JS056,21JS036);西安市科技计划项目(2019KJWL24)。
利用直流磁控溅射技术在Si(100)基底上制备了不同偏压的Zr-B-O和Cu/Zr-B-O薄膜体系,采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)等对薄膜样品的微观组织形貌和热稳定性进行表征分析。结果表明:不同偏压得到的Zr-B-O薄膜均为非晶...
关键词：Zr-B-O薄膜 直流溅射 偏压 微观结构 热稳定性 
锂金属负极用集流体改性研究及进展被引量：3
《储能科学与技术》2021年第4期1261-1272,共12页刘洋洋 王旭阳 徐谢宇 王永静 熊仕昭 宋忠孝 
国家自然科学基金项目(51802256)。
金属锂具有超高理论比容量密度(3680 mA·h/g)和低还原电位(-3.04 V,相对标准氢电极),被认为是高能量密度电池负极材料的“圣杯”。然而,由锂枝晶生长和对电解质高反应性所造成的库仑效率低、循环寿命短、内短路等一系列问题,严重制约...
关键词：集流体 金属锂负极 亲锂表面 锂枝晶 表面微结构 
磁控共溅射法制备ZrRu 薄膜及其电学性能研究
《真空与低温》2021年第3期231-234,共4页孟瑜 沈欢 宋忠孝 畅庚榕 
陕西省科技计划项目(2020JQ-889,2018JQ5173);陕西省教育厅科技项目(19JS056);西安市科技计划项目(2019KJWL24);西安文理学院大创项目和科研团队(DC2019049、XAWLKYTD013)。
扩散阻挡层的选材是Cu互连工艺研究重点之一,目前在研的阻挡层中,由两种难熔金属组成的二元合金因具有与Si反应温度高、电阻率低、结晶温度高等优点,成为一类极具应用潜力的阻挡层材料。本文通过磁控共溅射技术在p型Si单晶基底上沉积ZrR...
关键词：磁控溅射 ZrRu薄膜 溅射功率 微观结构 电学性能 
磁控溅射过饱和固溶CuCr合金薄膜微观结构及其力学性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2021年第5期464-471,共8页苗晓军 李凯 钱旦 李玉楼 杨波 李雁淮 庞亚娟 郝留成 宋忠孝 
国家电网有限公司总部科技项目资助,(项目名称:126 kV真空灭弧室关键工艺技术研究及应用)。
CuCr合金被广泛应用于电接触材料,过饱和固溶的CuCr合金薄膜,其微观结构及力学性能与Cu和Cr两相组成的假合金不同。本文利用磁控溅射方法制备了非平衡态过饱和固溶的CuCr合金薄膜,利用X射线、透射电镜,扫描电镜,纳米压入仪,研究了在整...
关键词：CuCr合金薄膜 磁控溅射 微观结构 力学性能 
复配固化剂对环氧树脂体系特性影响的分子动力学模拟被引量：11
《绝缘材料》2021年第1期73-77,共5页郝留成 袁端鹏 陈蕊 张子扬 赵玉顺 谢庆 王波 宋忠孝 
国家重点研发计划项目(2017YFB0903800、2017YFB0903803)。
为探究复配酸酐固化剂对环氧树脂固化产物的影响,采用分子动力学方法建立了甲基四氢苯酐(MTHPA)/邻苯二甲酸酐(PA)(复配比分别为10∶0、9∶1、7∶3、5∶5、0∶10)和双酚A型缩水甘油醚(DGEBA)的交联模型,研究了在同一交联度下固化剂不同...
关键词：环氧树脂 酸酐固化剂 力学性能 玻璃化转变温度 分子模拟 
SiN_X覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究
《人工晶体学报》2019年第5期907-912,共6页胡浩威 井津域 李钦 宋忠孝 
安徽省自然科学基金青年基金(1808085QE164)
采用射频磁控溅射在二氧化硅衬底上沉积一层厚度200nm的非晶In-Ga-Zn-O(IGZO)薄膜,并在IGZO膜层上沉积厚度分别为20nm、50nm、60nm、70nm、90nm的SiNX薄膜覆盖层,于350℃条件下N2气氛中退火1h。采用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微...
关键词：非晶IGZO薄膜 退火晶化 N2退火 SINX 
Si掺杂对纳米硬质CrAlN涂层结构及性能影响被引量：3
《材料热处理学报》2017年第10期119-125,共7页邰清安 柳琪 国振兴 王进 马大衍 宋忠孝 
采用真空阴极电弧离子镀技术在V-4E工具钢表面制备了CrAlN、CrAlSiN两种多元纳米硬质涂层。采用划痕仪、工具显微镜、显微硬度计、球磨仪、SEM、EDS、XRD、TEM及XPS分析了涂层的力学性能、摩擦学性能以及微结构。结果表明:与CrAlN涂层相...
关键词：真空阴极电弧离子镀 纳米硬质涂层 晶粒细化 耐磨性 
基体材料对AlCrN硬质涂层结构及摩擦学性能的影响被引量：1
《铸造技术》2017年第9期2141-2144,2151,共5页邰清安 柳琪 国振兴 王进 马大衍 宋忠孝 
采用真空阴极多弧离子镀技术,分别在Cr8、W6、Cr12及V-4E四种不同材质模具钢表面制备了Al Cr N多元纳米硬质涂层。利用划痕仪、工具显微镜、HV显微硬度计、球磨仪、SEM及XRD对Al Cr N涂层硬度,膜层厚度、结合力、摩擦系数进行了对比测试...
关键词：真空阴极多弧离子镀 纳米硬质涂层 结合力 耐磨性 
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