ZNO薄膜

作品数：1271被引量：2657H指数：21
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ZnO薄膜发光器件的电抽运随机激射:随机性的抑制
《物理学报》2025年第4期128-137,共10页纪然 蒋书明 夏程涛 杨德仁 马向阳 
国家重点研发计划(批准号:2018YFB2200102)资助的课题.
通过以大晶粒水热ZnO薄膜作为发光层并加以恰当图案化处理的策略,显著抑制了基于ZnO薄膜的金属-绝缘体-半导体(MIS)结构发光器件的电抽运随机激射的随机性.采用激光直写光刻工艺,先将硅衬底上的晶粒大小超过500 nm的水热ZnO薄膜图案化...
关键词：水热ZnO 薄膜 发光器件 随机激射 图案化 随机性的抑制 
新型氧化锌薄膜乙烷气体传感器在油浸式变压器中的应用
《自动化应用》2024年第21期130-133,共4页常洪燕 谭林斌 张冬至 
在大型油浸式电力变压器的健康管理中,变压器油中溶解气体的精准检测技术发挥非常重要的作用,尤其是在早期发现潜在故障方面。该技术可以更好地保证变压器绝缘性能的稳定性。其中,气体传感器在整个技术体系中发挥实时监管的作用,是该检...
关键词：油浸式变压器 ZNO薄膜 气体传感器 乙烷 
MOCVD生长ZnO薄膜的气相寄生反应路径研究
《人工晶体学报》2024年第9期1608-1619,共12页吴蕊 胡洋 唐荣芬 阳倩 王序 吴怡逸 聂登攀 王环江 
国家自然科学基金(22262008);贵州省基础研究计划(自然科学)(ZK[2021]051);贵州省科技计划项目([2020]4Y014,[2020]1Y406,[2021]YB484,[2023]YB349);贵州省科学协会专题和研究课题(YZ2023001);贵州省教育厅自然科学研究项目(QJJ[2022]159)。
本文利用量子化学的密度泛函理论(DFT),研究了金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长ZnO薄膜过程中二乙基锌(DEZn)与叔丁醇(t-BuOH)体系的气相寄生反应机理。通过计算不同温度下反应路径的Gibbs自由能变化,从热力学角度详细分析关键中间产物(...
关键词：氧化锌 金属有机化学气相沉积 密度泛函理论 寄生反应 薄膜 二聚物 
脉冲激光沉积法制备Ga掺杂ZnO薄膜结构、光学和电学性能研究
《淮北师范大学学报（自然科学版）》2024年第3期23-29,共7页周同 杨晓漫 刘亲壮 
国家自然科学基金项目(11974127);安徽省自然科学基金项目(2008085MA19);淮北师范大学研究生创新基金项目(CX2023039)。
为探究掺杂含量及薄膜厚度对Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜各性能的影响,利用脉冲激光沉积法在MgO衬底上制备一系列Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜。X射线衍射结果表明,所有薄膜均沿z轴择优生长,结晶质量和透光率随掺杂含量的增加而降低。Ga掺杂含量为3%的...
关键词：脉冲激光沉积 Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜 电学性能 X射线衍射 
双层结构对ZnO TFT稳定性的影响
《吉林建筑大学学报》2024年第2期76-82,共7页张悦 高晓红 王晗 王森 孙玉轩 
吉林省科技厅科技发展计划项目(20190303114SF)。
室温下采用射频磁控溅射方法在SiO_(2)/Si衬底上沉积了单层ZnO薄膜和高氧/低氧双层ZnO薄膜,采用电子束蒸发设备蒸镀Al电极,制备单沟道ZnO TFTs和双层沟道ZnO TFTs。比较两种结构ZnO TFTs的各种性能参数,分析双层结构对TFTs产生的影响。...
关键词：ZNO薄膜 ZnO TFT 滞回稳定性 双层结构 
高性能ZnO薄膜紫外光电探测器的研究
《山西化工》2023年第9期1-2,12,共3页刘思霖 张诗曼 王楠 
吉林省大学生创新创业项目(S202210205132)。
本研究通过磁控溅射法在石英衬底上制备出ZnO薄膜紫外光电探测器,通过X射线衍射(XRD)、吸收光谱、I-V特性曲线以及响应度曲线,对不同退火温度(500、600、700℃)的光电探测器紫外探测性能进行了深入研究。结果表明,利用退火手段,提高了...
关键词：ZNO薄膜 退火 响应度 
基于近场静电雾化工艺制备ZnO薄膜及其紫外光电探测性能
《厦门大学学报（自然科学版）》2023年第4期533-538,共6页姜佳昕 王翔 郑高峰 李文望 
国家自然科学基金(52275575);福建省中青年教师教育科研项目(JAT220338);福建省科技计划项目(2022H6036,2021J011196);厦门理工学院高层次人才科研启动项目(YKJ22038R)。
氧化锌(ZnO)光电敏感薄膜的精确喷印是集成制造的关键.本文采用近场静电雾化工艺制备ZnO光电敏感薄膜,通过缩短喷头至收集板距离,并缩小薄膜的沉积区域线宽,使纳米颗粒均匀分布在150~250μm线宽内.考察了不同喷印工艺对薄膜结构的影响....
关键词：近场静电雾化 紫外光电探测器 ZNO 微纳薄膜 
Al_(2)O_(3)掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响被引量：4
《湖南工业大学学报》2023年第2期38-43,共6页陈星辉 陈家辉 张聚航 王嘉悦 邵天一 陈光伟 
湖南省大学生创新训练基金资助项目(湘教通[2021]197-3035)。
以ZnAl_(2)O_(4)陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射法,利用优化的氧化锌薄膜制备工艺,在石英衬底上沉积了Al_(2)O_(3)掺杂ZnO(AZO)透明导电薄膜,并通过X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、薄膜测厚仪、霍尔效应仪对其进行了结构表征和光...
关键词：AZO薄膜 掺杂 磁控溅射 光电性能 择优取向 结晶质量 
原子层淀积Si掺杂ZnO薄膜的光电性能研究
《淮北师范大学学报（自然科学版）》2022年第4期60-64,共5页张远 张永兴 张金锋 牟福生 
复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室开放课题(2019KF005);安徽省级“六卓越、一拔尖”卓越人才培养创新项目(2019zyrc054);安徽省高等学校自然科学研究项目(KJ2020A0029);物理学(师范)专业卓越教师培养创新项目(2020zyrc143);力学教学示范课(2020SJJXSFK2147)。
文章对原子层淀积(ALD)Si掺杂ZnO(SZO)薄膜的结构、电学和光学性能进行研究.通过生长ZnO和SiO2叠层的方法得到不同硅(Si)掺杂浓度的SZO薄膜,XRD测量结果表明,SZO薄膜为多晶结构,AFM测量结果表明,掺杂后样品的表面粗糙度变小.随着Si掺杂...
关键词：Si掺杂 ZNO薄膜 原子层淀积 透光率 光致发光 
MOCVD方法生长氧化锌薄膜及其极性表面发光特性
《南昌大学学报（理科版）》2022年第6期607-610,620,共5页王剑宇 王立 
国家自然科学基金资助项目(62005112)。
氧化锌ZnO由于其高激子束缚能等特点在光电器件等方面表现出广泛的应用,制备高质量ZnO薄膜并研究其发光性能有着重要的意义。本文通过MOCVD方法在不同晶面的蓝宝石衬底上生长了不同极性表面的ZnO薄膜。扫描电子显微镜和阴极射线荧光表...
关键词：凝聚态物理 ZNO薄膜 蓝宝石衬底 MOCVD 阴极射线荧光 
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