AZO薄膜

作品数：168被引量：363H指数：9
导出分析报告
相关领域：理学电子电信更多>>
相关作者：葛春桥马晓翠曹培江朱德亮贾芳更多>>
相关机构：武汉理工大学深圳大学电子科技大学郑州大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划深圳市科技计划项目辽宁省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
AZO/Bi_(2)O_(3)复合薄膜的制备及压敏电阻特性研究
《电子元件与材料》2024年第11期1293-1298,共6页余奇岭 易巧钧 薛腊梅 张锋 
重庆理工大学研究生创新项目(gzlcx20232091)。
薄膜压敏电阻在微型电路和集成电路保护等方面有着重要的应用。采用磁控溅射方法制备了基于铝掺杂氧化锌(AZO)与氧化铋(Bi_(2)O_(3))的复合薄膜,考察了AZO/Bi_(2)O_(3)/AZO构型下不同厚度Bi_(2)O_(3)和不同退火温度对样品电阻特性的影...
关键词：AZO薄膜 压敏电阻特性 氧化铋 磁控溅射 
掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的研究进展被引量：2
《功能材料》2023年第9期9059-9069,共11页孔德茹 安佳钰 刘靖 孙冬兰 
国家自然科学基金(21373150)。
新型掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜光学性能优异,成本低廉,有望取代技术成熟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜。主要简述了AZO薄膜的结构及其光电性能,重点综述了薄膜的制备工艺以及应用领域,对极具开发潜力的AZO薄膜的产业化前景进行了展望。
关键词：AZO薄膜 特性 制备工艺 应用 产业化前景 
Al_(2)O_(3)掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响被引量：4
《湖南工业大学学报》2023年第2期38-43,共6页陈星辉 陈家辉 张聚航 王嘉悦 邵天一 陈光伟 
湖南省大学生创新训练基金资助项目(湘教通[2021]197-3035)。
以ZnAl_(2)O_(4)陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射法,利用优化的氧化锌薄膜制备工艺,在石英衬底上沉积了Al_(2)O_(3)掺杂ZnO(AZO)透明导电薄膜,并通过X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、薄膜测厚仪、霍尔效应仪对其进行了结构表征和光...
关键词：AZO薄膜 掺杂 磁控溅射 光电性能 择优取向 结晶质量 
航天探月工程科研成果转化的教学实验:仿生荷叶掺铝氧化锌薄膜应用于月尘防护被引量：2
《化学教育（中英文）》2023年第6期36-40,共5页李杨 任惠雯 郭宝 王群 吴晓宏 
黑龙江省高等教育教学改革重点委托项目(SJGZ20200050);校研究生教育教学改革项目(21ZD006)。
面向国家航天探月重大需求,将科研项目“仿生荷叶超疏水微纳结构防月尘性能研究”转化为本科生实验,主要内容为利用原子层沉积技术制备铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜,结合水热法制备具有二级微纳结构的AZO涂层材料。该实验航天背景特色强,涉及...
关键词：AZO薄膜 超疏水 月尘防护 教学实验 
基于AZO的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究被引量：1
《真空与低温》2023年第1期20-27,共8页王成龙 周渊 王锐东 马军 
国家自然科学基金(52066010);甘肃省科技计划项目(20YF8GA039);甘肃省高等学校创新基金项目(2021B-094)。
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜在红外波段具有高反射率的特性。设计了SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)光谱选择性反射膜。通过软件仿真和实验研究,探究了SiO_(2)、AZO、Al_(2)O_(3)薄膜的光学常数以及物理厚度对SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)...
关键词：太阳能 光谱选择性反射膜 AZO薄膜 辐射热损失 二次聚光器 
衬底类型对ZnO薄膜应用在太阳能电池上的影响被引量：2
《有色金属工程》2022年第2期50-55,共6页肖原彬 王立生 赵艳芳 
江苏省高校自然科学基金面上项目(20KJB510015)。
采用射频磁控溅射技术在硅衬底和石英玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同衬底对AZO薄膜的结构、形貌、电学和光学性质的影响。结果表明:硅衬底上沉积的AZO薄膜具有更好的结晶质量;同时,硅衬底上AZO薄膜电阻率和载流子浓度...
关键词：AZO薄膜 衬底类型 射频磁控溅射 光伏器件 
双靶共溅射制备AZO薄膜的光电性能研究被引量：2
《半导体光电》2021年第5期656-661,共6页冯媛媛 邓军 许晓芳 贺鑫 宋钊 
采用双靶共溅射的方法制备了光电性能较好的掺Al氧化锌(AZO)薄膜,利用X射线衍射仪、霍尔测试仪、SEM等多种技术手段研究了不同的Al溅射功率和快速退火条件对AZO薄膜的影响,发现AZO薄膜在Al溅射功率为15W、退火温度为400℃时性能最佳。...
关键词：AZO薄膜 双靶共溅射 Al溅射功率 快速退火 红外 
溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的研究进展被引量：1
《真空》2021年第4期30-35,共6页纪建超 颜悦 哈恩华 
国家自然科学基金资助项目(57802297)。
综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,指出了溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的优势与不足,展...
关键词：AZO薄膜 溶胶-凝胶 光电特性 
真空热处理对AZO膜结构及光电性能的影响
《真空》2021年第3期45-50,共6页张心会 李青霄 
河南城建学院博士基金(批准号:Q2018015)。
采用直流磁控溅射法分别在预热的和室温下的玻璃衬底上制备了AZO薄膜,并对室温下制备的AZO薄膜进行了真空退火。使用X射线衍射仪、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计和霍尔测试仪对这两种工艺条件下制备的AZO薄膜进行了表征,比较研究...
关键词：AZO薄膜 真空 热处理 方阻 光电性能 
溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜被引量：1
《液晶与显示》2020年第10期1006-1011,共6页王伟郅 于涛 巩伟兴 肖奇 温志玉 张嘉伦 黄志宇 
国家自然科学基金(No.11404048);中央高校基本科研业务费(No.3132016349)。
采用溶胶-凝胶法制备了掺杂摩尔分数为5%~20%的Al掺杂ZnO(AZO)高电阻薄膜,采用正方形电阻法表征了薄膜的方块电阻,采用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌进行了表征,采用Nano Measurer 1.2软件测量了薄膜晶粒的平均粒径,采用分光光度计表...
关键词：溶胶-凝胶法 AZO薄膜 方块电阻 液晶透镜 模式控制 
全选清除导出
共17页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部