方块电阻

作品数：217被引量：441H指数：9
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AgNWs-有机硅改性PU柔性薄膜传感器的制备与性能
《传感技术学报》2025年第2期222-230,共9页王澳 钱建华 杨晶晶 
为获得高灵敏度、宽频响范围和化学性能良好的柔性传感器,以聚氨酯(PU)柔性薄膜作为基底,用有机硅对其进行改性,将银纳米线(AgNWs)作为电阻材料制备柔性薄膜传感器。采用一步多元醇法合成AgNWs,制备出平均直径约为66.19 nm,平均长度约为...
关键词：柔性传感器 银纳米线 有机硅 聚氨酯 方块电阻 
传感自控技术在提升扩散均匀性中的应用
《电子技术(上海)》2024年第12期16-17,共2页林韦蔚 韦逢春 闫柏霖 姜利 饶文锐 易险峰 
国家重点研发计划(2020YFE0203100);长沙市科技计划(kh2404008)。
阐述针对扩散炉工艺制造均匀性不佳的问题,通过运用智能传感和控制技术,设计石英舟自动传感控制系统,介绍检测所用器件的算法原理。测试验证提升方块电阻均匀性的效果。
关键词：智能控制 扩散工艺 方块电阻 均匀性 
适用于共晶焊的肖特基二极管背面金属化工艺优化
《厦门大学学报（自然科学版）》2024年第4期603-608,共6页郑志霞 陈轮兴 郑鹏 
福建省科技厅引导性基金资助项目(2022H0051);福建省科技厅区域发展基金资助项目(2022H4007)。
[目的]为了降低成本,减少污染,提高工艺效率,对肖特基二极管背面金属化工艺进行研究,探索锡锑合金替代金系合金的最佳不持温镀膜金属化工艺.[方法]通过持温镀膜与不持温镀膜对比实验,分析电子束蒸发镀膜基片温度对阴极金属层间黏附性和...
关键词：肖特基二极管 金属化工艺 电子束蒸发镀膜 方块电阻 空洞率 剪切力 
硅衬底温度对电子束蒸发钛薄膜性能的影响
《电镀与精饰》2024年第3期1-5,共5页李兆营 李萌萌 
采用电子束蒸发法在硅衬底表面制备Ti薄膜。采用台阶仪、原子力显微镜、反射率测试仪、四探针电阻测试仪和应力测试仪分析了在不同衬底温度下所得Ti薄膜的厚度、表面粗糙度、镜面反射率、方块电阻和残余应力。结果表明,随着衬底温度从2...
关键词：电子束蒸发 硅衬底温度 钛薄膜 方块电阻 残余应力 表面粗糙度 镜面反射率 
200 mm高纯半绝缘SiC衬底AlGaN/GaN HEMT外延材料
《固体电子学研究与进展》2024年第1期F0003-F0003,共1页张东国 李忠辉 魏汝省 杨乾坤 彭大青 李传皓 罗伟科 王克超 
南京电子器件研究所采用国产200 mm高纯半绝缘SiC衬底,提出衬底高温刻蚀、GaN外延模式调控应力等技术,有效解决了高温下衬底边缘突翘和薄膜异质生长应力大等问题,显著降低了大尺寸外延材料的翘曲度,研制出高质量200 mm SiC衬底AlGaN/GaN...
关键词：AlGaN/GaN 外延材料 二维电子气 半绝缘 微波毫米波 方块电阻 摇摆曲线 迁移率 
交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析被引量：2
《半导体技术》2024年第1期85-90,共6页陈明武 王亚林 冯金良 王尚前 刘剑 王可 
国家自然科学基金(51961004);江西省教育厅科研资助项目(GJJ200714)。
四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件...
关键词：范德堡法 LABVIEW 交流 直流 方块电阻 
中科重仪自研功率型硅基氮化镓生产线投产
《变频器世界》2023年第12期38-38,共1页
近日,苏州中科重仪半导体材料有限公司(以下简称“中科重仪”)自主研发的应用于电力电子领域的大尺寸硅基氮化镓(GaN-on-Si)外延片生产线正式建成并投入使用。据介绍,中科重仪生产的氮化镓外延片,氮化镓层厚度约5μm表面无裂纹,翘曲度小...
关键词：氮化镓 半导体材料 电力电子 外延片 方块电阻 功率型 迁移率 2DEG 
硼源漏区离子注入及退火后的方块电阻均匀度控制技术分析
《集成电路应用》2023年第10期33-35,共3页任杰 王元之 张翔 王世贵 马美玲 廖强 
阐述离子注入受到很多因素的影响,这些因素会导致剂量不能够均匀分布。分析Varian80-10注入机的真空系统性能改进、离子源系统性能参数提升措施,实现注入均匀,使方块电阻阻值更加均匀。
关键词：集成电路制造 离子注入 注入均匀 方块电阻 
卷绕镀铜工艺对复合集流体电学性能影响研究被引量：2
《真空》2023年第4期8-12,共5页张艳鹏 曹志强 付强 曹磊 刘旭 
为改善锂离子电池用镀铜复合集流体的电学性能,通过控制卷绕磁控溅射走带速度、阴极功率、工艺压强、线性离子源前处理参数、NiCr打底层厚度等工艺条件,在有机基材表面沉积铜膜,通过四探针方阻测量仪测定镀铜层方阻值,得到了不同工艺参...
关键词：复合集流体 卷绕镀膜 磁控溅射 镀铜 方块电阻 
超声喷雾热解法制备ATO-FTO双层膜的电热特性
《材料科学与工程学报》2023年第4期638-644,698,共8页梁昌兴 罗月婷 陈远豪 肖黎 龚恒翔 
重庆市教育委员会科学技术研究基金资助项目(KJQN202201137);教育部产学合作协同育人资助项目(220704090283039);重庆市自然科学基金资助项目(cstc2021jcyj-bshX0219);重庆理工大学研究生教育高质量资助项目(gzljg2023315)。
为改善氟掺杂氧化锡(FTO)基薄膜的电热性能,采用超声喷雾热解法(USP)在石英衬底上制备ATO-FTO双层膜,研究ATO膜层厚度对双层膜结构、表面形貌以及电热性能的影响。研究结果表明:制备的双层膜为高度结晶的四方金红石结构,随着ATO膜层厚...
关键词：ATO-FTO双层膜 超声喷雾热解法 方块电阻 电热性能 发热效率 
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