离子注入

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钛等离子体浸没离子注入增强Bio-HPP材料的细胞相容性和抗菌性
《局解手术学杂志》2025年第3期187-192,共6页许朗 黄忠卫 石锐 
国家自然科学基金面上项目(82072406)。
目的使用等离子体浸没离子注入(PIII)技术将钛离子注入到Bio-HPP材料表面,并初步评价该材料对人牙龈成纤维细胞(HGFs)的生物相容性和对牙龈卟啉单胞菌(P.g)的抗菌性。方法体外研究为细胞实验和抗菌实验,将试件随机分为改性组和对照组,...
关键词：人牙龈成纤维细胞 Bio-HPP 黏附 增殖 牙龈卟啉单胞菌 抗菌性 
旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期28-32,54,共6页郭锐利 彭立波 罗才旺 
为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求,设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统,介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体;分析了3种传片流程,并进行比较;论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最...
关键词：离子注入机 晶圆传送系统 真空机械手 靶室 运动控制 
VIISta HCS离子注入机在离子束优化与检测期间的金属污染探究及改善
《电子与封装》2025年第2期74-78,共5页李天清 
针对半导体行业所面临的金属污染问题,VIISta HCS离子注入机虽已具备若干成熟的改进措施,然而在先进制程对离子注入工艺金属纯净度要求日益严格的当下,迫切需要明确该机型金属污染的其他潜在原因。该机型在进行离子束优化与检测的过程中...
关键词：离子注入 离子束 金属污染 法拉第杯 
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2025年第1期86-88,共3页张以忱 
(接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形...
关键词：离子辅助沉积 非均匀磁场 等离子体密度 离子注入 电极孔 强磁场 电子流 电荷 
Ar离子注入蓝宝石衬底诱导成核的高质量GaN外延
《无机材料学报》2025年第1期91-96,共6页安瑕 许晟瑞 陶鸿昌 苏华科 杨赫 许钪 谢磊 贾敬宇 张进成 郝跃 
国家自然科学基金(62074120,62134006);国家重点研发计划(2022YFB3604400)。
氮化镓(Ga N)薄膜通常是在异质衬底上获得的,然而异质外延引入的高密度位错限制了其在高性能电子器件和光电器件中的发展。本研究采用Ar离子预处理蓝宝石衬底来实现诱导成核,显著降低了Ga N外延层中的位错密度。优化Ar离子的注入剂量发...
关键词：GAN 离子注入 诱导成核 外延 
二硫化钼同质结构筑与自供电光电效应研究
《四川大学学报（自然科学版）》2024年第6期3-8,共6页王超 郝昕 姚梦麒 王江 刘源 卢彦岭 谭超 王泽高 
中国兵器工业集团有限公司激光器件技术重点实验室开放基金(KLLDT202104);激光雷达与器件技术实验室开放课题(LLD2023-006)。
二维二硫化钼(MoS_(2))自供电光电探测器具有小尺寸、低重量、低功耗(SWaP)的优势,在物联网、医疗和军事等领域有重要的应用前景.离子注入可以调控半导体材料的能带结构,是构筑自供电同质结器件的工艺之一.然而,对于纳米级厚度的MoS_(2)...
关键词：自供电光电探测器 二硫化钼 离子注入 范德瓦尔同质结 
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2024年第6期85-88,共4页张以忱 
(接2024年第5期112页)图3给出了气体离子注入设备的基本结构。它包括:离子源、聚焦系统、加速系统、分析磁铁、扫描装置和靶室等。离子源的基本作用是产生正离子,其电离室由不锈钢制成,电离室外套有一个电磁线圈。
关键词：离子辅助沉积 电磁线圈 电离室 聚焦系统 扫描装置 离子注入 分析磁铁 离子源 
SiC压阻式压力传感器欧姆接触制备工艺及性能研究
《实验流体力学》2024年第6期93-98,共6页杨健 许姣 赵晨曦 郝文昌 尹玉刚 张世名 
SiC压阻式压力传感器是解决飞行器表面高温脉动压力原位测量的重要测试工具,为了提高传感器性能、降低敏感芯片金属—半导体接触阻抗,本文对n型4H–SiC欧姆接触的制备工艺及性能进行了研究。采用离子注入工艺对SiC基片进行了磷(P)离子注...
关键词：离子注入 欧姆接触 真空退火工艺 压力传感器 4H–SiC 
金刚石离子注入射程及损伤的模拟研究
《电子与封装》2024年第11期73-80,共8页袁野 赵瓛 姬常晓 黄华山 倪安民 杨金石 
离子注入法作为改善半导体材料表层电学性能的有效方法,被应用于金刚石基半导体器件的制造过程中。使用SRIM软件模拟并研究了Ar+、N+、B+、P+、As+等离子在不同能量(20~300 keV)和不同入射角度(0°~40°)下注入金刚石时的射程,及其对金...
关键词：金刚石 离子注入 射程 靶材损伤 
碳化硅离子注入机控制系统优化设计
《中国集成电路》2024年第11期87-91,共5页盛飞龙 伍三忠 梁启恒 仇礼钦 孔倩茵 
为对碳化硅离子注入机控制系统进行优化提升,从离子注入机的原理开始,描述了离子注入机的基本结构组成,并对控制系统的架构设计进行了一定的分析和阐述;接下来详细介绍了碳化硅离子注入机控制系统几个重要部件优化设计,包括加热优化设...
关键词：离子注入机 控制系统 碳化硅 部件 优化设计 
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